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微机器人系统的组成 微机器人系统一般由以下四部分组成:(1)微执行器,(2)微传感器,(3)微能源,(4)控制系统,与此对应的微执行器技术、检测技术、能源供给和控制技术就是微机器人的关键技术。当然将以上四部分集成在一起是微机器人发展的趋势,目前国内外的研究大多还没达到这一步,许多是分离的组件构成一个广义的机器人系统。 2015年机器人自动化国际学术研讨会上，一种只有硬币大小的微型折“纸”机器人引来了众多与会者的关注。 在这个折纸机器人中有四个电磁线圈，它们的开启和关闭，能让机器人进行移动。当将其置于丙酮溶液中时，机器人除磁体之外的部分都会发生溶解。研究人员指出，如果机器人的结构过于复杂，要让其在液体中完全溶解将是一个艰难的挑战。 折纸机器人 首尔国立大学的工程师团队研发出了一种可在水面跳跃的机器人。为了赋予机器人这种能力，该团队的工程师研究了水黾的生物结构。 研究者们最终所制作出的微型机器人的确具备不俗的跳跃能力，达到了其理论上最大加速度的92%。为了实现扭矩的最大化，这种机器人的腿要比水黾还要长5厘米。它们的身体上还配备了一个弹簧式的装置，在被一小根电热丝加热之后，该装置的刚性就会发生改变，并触发跳跃的动作 水面跳跃机器人 微型机器人发展中面临的问题 1)驱动器的微型化,微驱动器是MEMS最主要的部件，从微型机器人的发展来看，微驱动技术起着关键作用，并且是微机器人水平的标志，开发耗能低、结构简单、易于微型化、位移输出和力输出大，线性控制性能好，动态响应快的新型驱动器(高性能压电元件、大扭矩微马达)是未来的研究方向。 (2)能源供给问题,许多执行机构都是通过电能驱动的，但是对于微型移动机器人而言，供应电能的导线会严重影响微型机器人的运动，特别是在曲率变化比较大的环境中。微型机器人发展趋势应是无缆化，能量、控制信号以及检测信号应可以无缆发送、传输。微型机器人要真正实用化，必须解决无缆微波能源和无缆数据传输技术，同时研究开发小尺寸的高容量电池。 (3)可靠性和安全性,目前许多正在研制和开发的微型机器人是以医疗、军事以及核电站为应用背景，在这些十分重要的应用场合，机器人工作的可靠性和安全性是设计人员必须考虑的一个问题，因此要求机器人能够适应所处的环境，并具有故障排除能力。(4)新型的微机构设计理论及精加工技术,微型机器人和常规机器人相比并不是简单的结构上比例缩小，其发展在一定程度上和微驱动器和精加工技术的发展是密切相关的。同时要求设计者在机构设计理论上进行创新，研究出适合微型机器人的移动机构和移动方式。 其他 当前，MEMS技术正处于高速发展前夕，21世纪会展现一个大发展的局面，它的广泛应用和效益将强有力地显示出来，它对信息、航空、航天、自动控制、医学、生物学、力学、热学、光学、近代物理和工程学等诸领域发展的影响将是深远的，人类的生产和生活方式也会因此而发生重大改变。 MEMS摄像头 按照DigitalOptics Corporation官方给出的数据，MEMS摄像头对焦速度要比普通的VCM摄像头快足足7倍，即使这里面有一定水分，也是一个非常惊人的数字。 MEMS工作时的典型功耗只有VCM的1%左右，由此导致的低发热也可以让摄像头组件降温10度 MEMS摄像头可以实现比传统VCM摄像头更薄的最终模组尺寸，差距可以到1毫米——这对于现代手机设计而言是非常重要的一个优势。 MEMS振荡器 MEMS振荡器是指通过微机电系统制作出的一种可编程的硅振荡器，属于我们通常所说的有源晶振。它是对传统石英晶振产品的一个升级更新换代，防震效果是前者的25倍，具有不受振动影响、不易碎的特点。MEMS振荡器的温度稳定性也比传统晶振更好，不受环境温度高低变化的影响。 仿学中的应用（仿生纤毛） 地下水流微传感器 MEMS已在空间超微型卫星上得到应用 ,该卫星外形尺寸为 2. 54 cm ×7. 62 cm ×10. 6 cm,重量仅为 250 g 。2000年 1月 ,发射的两颗试验小卫星是证明空基防御能力增强的一个范例。对小卫星试验来说幸运的是 ,因其飞行寿命短 ,所以 ,暴露在宇宙辐射之下并不是关键问题。小卫星上基于硅的 RF开关在太空应用中表现出优异的性能 ,这得益于它的超微小尺寸。作为一个在海上应用的实例 ,MEMS引信 /保险和引爆半导体,微电子,集成电路,IC,工艺,设计,器件,封装,测试, F/SA 装置已成功地用于潜艇鱼雷对抗武器上。引信 /保险和引爆装置的工作包括 3个独立步骤:发射鱼雷后 ,解除炸药保险、引爆 引信 和防止在不正确时间爆炸 保险 。使用镀有金属层的硅结合巧妙的封装技术 ,MEMS F/SA器件要比传统的装置小 1个数量级 ,可安装在 15. 88 cm的鱼雷上 ,这是其他方法做不到的