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无尘室基础知识 Cleaning room training 1.污染定義 1.污染定义 a).所有存在于產品上，會對產品產生直接或 間接危害的物質； b).所有存在于產品上，超出產品要求之外的 物質； c).任何客戶不允許存在于產品上的物質。 2.污染危害 a).打印白點，白線； b).電路短路：導電物質在IC線路間； c).ESD：不導電物在IC線路間，靜電積聚 Charge ESD； d).粘結力不夠：加膠； e).腐蝕，溫度積聚。 3.污染來源 人是無塵室中污染的最大來源。無塵室空气 中檢測到的污物中，80%來源于人，15%來源 于工具和設備，5%來源于環境。 4.污染的去除 污染控制的一個最大突破是無塵室的使用。 擦洗：用無塵抹布蘸溶劑水擦除灰塵、污漬。 5.污染的逐級清洁控制 即從外圍環境到工作區域進行台階式漸進 控制，直至達到工作環境要求。如下圖1： 无尘室 Clean Room Class100/1K/10K/100K 办公室 + 普通工场 Class300K 廠區 Class 500-800K 无尘室定义 无尘室分类 无尘室组成 无尘室控制 瀚誠無塵室主要控制指標 无尘室知识 1、無塵室(Cleaning Room,C/R)定義 使室內(厂房)空气的塵粒、溫度、濕度壓力 等技術指標成為一穩定受控的區域，用來保 証某一生產或試驗過程所必需的環境要求， 該區域即被稱為無塵室。 2、無塵室一般的分類： Class-100/1K/10K（ISL C/R)/100K四种級別的無塵室。 3、無塵室的基本組成： 更衣室、風浴室、無塵室(工作區域)。 更衣室：相對普通工場及辦公室而言，是一個更 洁淨的區域，主要用來穿脫無塵衣， 時也能保証無塵衣貯存在一個 相對清洁的區域內。 風浴室：兩側牆壁上密排空气噴咀，它能噴出 1624M/S的高速洁淨的空气，其目的是用強的 洁淨空气流吹去無塵工衣表面的懸浮塵埃,從 而達到清洁無塵工衣表面的目的。同時,地板 上鋪有地板膠，其目的是將無塵鞋套底部處 的臟東西粘下來，從而達到清洁鞋底部的功效。 無塵室：從無塵室天花板高效清洁過濾器吹 出的空气非常清洁，Hepa Filter能將99.97% 的大于等于φ0.3um的塵粒過濾掉，過濾后 的空气每立方尺中大于等于φ0.3um的塵粒 一般不超過1粒，從Hepa Filter吹下的洁淨 空气吹過無塵室工 作區域的所有空間，源 源不斷地用干淨的空气替換已污臟的空气，最 經回風口帶出無塵室，同時，通過調整進風 量与回風量從而使得工作區域靜壓力高于外 界气壓(約高5-10pa)，從而使外界空气不致 灌進無塵室。另外，所有用來建造無塵室 的牆壁材料均為表面低發塵性的專用材料, 應注意其牆壁的保護，不可刻畫及張貼而 損坏牆壁表面。 人 机 料 法 环 4、無塵室 的控制 無塵室控制思想： a).少進多出 一要做到“多出”，也就是盡可能快及盡可能多地 將無塵室的塵粒排出無塵室之外； 二要做到“少進”，試想，如果進入無塵室的塵粒 數量大于無塵室所能排出的數，結果可想而知， 所以“少進”也是一個非常重要的因素，為了達 到“少進”的目的，需從人、机、料、法几個方 面尋找問題根源，盡量減少這几個方面產生塵 粒的可能性。 b).防止交叉污染 物体与物体、物体与環境等之間的相互污染。 主要有以下途徑： 干淨物体 相對污臟的環境或物体 污臟