第一半导体常规电学参数测试分析.pptVIP

第一章 硅单晶常规电学参数的测试 1.1 半导体硅单晶导电型号的测量 1、N型半导体（施主掺杂） 2、P型半导体(受主掺杂） 二、导电类型的测量方法 2、温差电动势、及电流的产生： （a）N型半导体 （b）P型半导体 3、导电类型的判定 （1）检流计指针偏转（STY-1） （2）液晶显示屏显示N或P（STY-2) STY-2仪器的优点 1、采用第四代集成电路设计、生产。 2、自动恒温的热探笔。 3、由液晶器件直接发显示N、P型。 4、操作方便、测试直观、快速、准确。 使用方法 1）插好背板上的电源线，并与～220V插座相接；将热笔、冷笔与面板上4芯、3芯插座相接。 2）打开仪器面板左下角的电源开关，电源指示灯及热笔加热灯亮。10分钟左右热笔达到工作温度时，保温（绿）灯亮，即可进行型号测量。热探笔随后自动进入保温→加热→保温→…循环，温度保持在40-60℃（国标及国际标准规定的温度）。 3）先将热笔在被测单晶面上放稳，后将冷笔点压在单晶上，液晶显示器即显示型号（N或P）。 4）测量电阻率较高的单晶时，请将N型调零电位器P型调零电位器调近临界点（逆时针旋转），以便提高仪器的测量灵敏度。 5）在P型、N型显示不稳定时，以多次能重复的测量结果为准。 6）测量时握笔的手不要与被测单晶接触，以免人体感应影响测量结果。 如图所示，在样品上压上三个探针，针距在0.15-1.5mm范