干涉光刻制作纳米结构研究.pptVIP

干涉光刻制作纳米结构研究 一、 研究背景和目的 干涉光刻工艺的研究已经在国外兴起多年，这种工艺在加工亚微米尺度的表面结构表现出极大的优势，也为这些领域的研究提供了一重强有力的加工手段。 ?小尺度纳米结构加工中，Johannes等人证明了激光干涉光刻的加工尺度可以突破其光波波长极限，而进一步将表面图形尺度缩小； ?Ke Du研究小组以激光干涉光刻工艺加工的表面结构为基础，通过淀积金属的方法得到了质量很好的模版； ?Ivan B.Divliansky证明了该工艺加工出的表面结构在光子晶体应用中表现出非常好的应用价值。 而国内仅有少数高校和科研机构对激光干涉工艺进行研究，起步较早的有四川大学、南京大学以及复旦大学 尽管相对于国外起步较晚，但我国的干涉光刻技术在稳步追赶 一、研究背景和目的 ⑴开发一款使用405nm激光器为光源的Lloyds mirror激光干涉光刻设备，具备大面积、小尺度、稳定度高和工艺简单等优点； ⑵为亚微米尺度的加工提供了一种相对廉价且方便的手段，将大大推动国内对表面周期性纳米结构应用的研究； ⑶结合实验提出一些新的加工理念，将更为丰富激光干涉光刻工艺加工结构的种类，为激光干涉光刻在新的材料新的应用领域提供坚实的基础 二、课题理论基础 两束波长为λ，强度同为 的 平面波分别以相同的入射角θ对 称地入射到同一平面