压电传感器6章讲述.ppt

2014 * 第6章 压电式传感器 压电式传感器是以某些晶体受力后在其表面产生电荷的压电效应为转换原理的传感器。它可以测量最终能变换为力的各种物理量，例如力、压力、加速度等。 压电式传感器具有体积小、重量轻、频带宽、灵敏度高等优点。近年来压电测试技术发展迅速，特别是电子技术的迅速发展，使压电式传感器的应用越来越广泛。 F F 极化面 Q 压电介质 机械能 ｛ 电能 ｝ 正压电效应 逆压电效应 压电效应及可逆性 2014 * 第6章 压电式传感器 某些晶体，在一定方向受到外力作用时，内部将产生极化现象，相应地在晶体的两个表面产生符号相反的电荷；当外力作用除去时，又恢复到不带电状态。当作用力方向改变时，电荷的极性也随着改变，这种现象称为压电效应。具有压电效应的物质很多，如石英晶体、压电陶瓷、压电半导体等。 6.1 基本原理分析 6.1.1 压电效应 F F 极化面 Q 压电介质 机械能 ｛ 电能 ｝ 正压电效应 逆压电效应 压电效应及可逆性 2014 * 顺压电效应：一些电介质，在受到一定方向的外力作用而变形时，内部产生极化现象，而在其表面产生电荷，当去掉外力后，又重新回到不带电状态，这种将机械能转换成电能的现象，称为顺压电效应，又称为压电效应。 逆压电效应：当在电介质极化方向施加电场时，电介质在一定方向上产生机械变形，内部出现机械应力，这种将电能转换成机械能的现象称“逆压电效应”,又称为电致伸缩效应。 ? 压电传感器的外形 ????????压力变送器部件 ???? 压力变送器?? 第6章 压电式传感器 2014 * 平面切变型 长度受压型 压电效应能量转换的几种基本形式 厚度受压型 厚度切变型 厚度切变型 平面切变型 2014 * 6.1.2 石英晶体的压电效应 石英晶体是一种应用广泛的压电晶体。它是二氧化硅单晶，属于六角晶系。图6.1.1是天然石英晶体的外形图，它为规则的六角棱柱体。石英晶体有三个晶轴：Z轴又称光轴，它与晶体的纵轴线方向一致；X轴又称电轴，它通过六面体相对的两个棱线并垂直于光轴；y轴又称机械轴，它垂直于两个相对的晶柱棱面。 石英晶体的外形、坐标轴及切片 图6.1.1 天然石英晶体的外形图 第6章 压电式传感器 2014 * 从晶体上沿XYZ轴线切下一片平行六面体的薄片称为晶体切片。当沿着X轴对压电晶片施加力时，将在垂直于X轴的表面上产生电荷，这种现象称为纵向压电效应。沿着y轴施加力的作用时，电荷仍出现在与X轴垂直的表面上，这称之为横向压电效应。当沿着Z轴方向受力时不产生压电效应。 纵向压电效应产生的电荷为 qxx＝dxxFx 式中，qxx为垂直于X轴平面上的电荷，dxx为压电系数，下标的意义为产生电荷的面的轴向及施加作用力的轴向；Fx为沿晶轴X方向施加的压力。 由上式看出，当晶片受到X向的压力作用时，qxx 与作用力Fx成正比，而与晶片的几何尺寸无关。如果作用力Fx改为拉力时，则在垂直于X轴的平面上仍出现等量电荷，但极性相反。 横向压电效应产生的电荷为 式中，qXY为轴向施加压力，在垂直于X轴平面上的电荷 dXY为压电系数，Y轴向施加压力，在垂直于X轴平面上产生电荷时的压电系数；FY为沿晶轴Y方向施加的压力。 根据石英晶体的对称条件dXY=dXX，所以 由上式可以看出，沿机械轴方向向晶片施加压力时，产生的电荷是与几何尺寸有关的，式中的负号表示沿Y轴的压力产生的电荷与沿X轴施加压力所产生的电荷极性是相反的。 第6章 压电式传感器 2014 * 石英晶片受压力或拉力时，电荷的极性如下图所示。 a) b) c) d) 晶片受力方向与电荷极性的关系 a) b) c) 石英晶体的压电效应 石英晶体在机械力的作用下为什么会在其表面产生电荷可以解释如下： 石英晶体的每一个晶体单元中，有三个硅离子和六个氧离子，正负离子分布在正六边形的顶角上，如上图a所示。当作用力为零时，正负电荷相互平衡，所以外部没有带电现象。 第6章 压电式传感器 2014 * 如果在X轴方向施加压力，如上图b所示，则氧离子挤入硅离子2和6间，而硅离子4挤入氧离子3和5之间，结果在表面A上出现正电荷，而在B表面上出现负