第6章位移、速度及加速度检测-王威立预案.ppt

6.6 码盘式传感器 码盘式传感器是以编码器为基础的，它是测量轴角位置和角位移的方法之一。国内已有16位绝对编码器和每转大于10000脉冲数输出的小型增量编码器。 6.6.1 光电码盘式传感器原理 光电码盘式传感器是用光电方法把被测角位移转换成以数字代码形式表示的电信号的转换部件。工作原理如图示。 2-柱面镜，4-狭缝，5-光电元件 6.6 码盘式传感器 6.6.2 光电码盘 光电码盘一般用照相腐蚀法制作。已有径向线宽为6.7×10-8rad的码盘，其精度高达10-8。 一、二进制码盘四位二进制码盘如图示，涂黑部分输出为0，空白部分输出为1。 6.6 码盘式传感器 二进制码盘的特点：① n位二进制码盘能分辨的角度为： 位数n越多，能分辨的角度越小， 测量精度越高。n=20→α=1″。 ② 二进码为有权码，编码CnCn-1…C1 对应于零位算 起的转角为: 错码？ （光电元件转换不同步或码道制作不精确） （p.243） 措施？（用循环码代替二进制码或双读数头法） （p.243-244） 6.6 码盘式传感器 二、循环码码盘 循环码的特点是相邻两个数码间只有一位不同。码盘的制作和安装不准，引起的误差最多也只是最低的一位数。 四位循环码盘如图示。表6.