2016UV技术发展方向.pptVIP

1.全電磁輻射光譜 2.U/V的功能 172nm - 185 nm O3洗淨 254nm – 365nm 254nm P(ASM) 、 DEXP……. 改質 365nm EXP……. 改質 殺菌 洗淨 與我們製程相關的有： 3.U/V洗淨原理 A.首先184.9短波長的紫外線會將大氣中O2分子鍵切斷產生2個單氧O + O；O（單氧） 再與大氣中O2結合形成O3（臭氣）…..如圖。 B.253.7波長的紫外線會將O3分子鍵切斷產生→O2 + O。 C.253.7波長紫外線照射附著於被照物表面上的有機性污染物薄膜、直接破壞切斷其 分子鍵。…..如圖。 D.被破壞切斷其分子鍵有機性污染原Ｃ(碳)Ｈ(氫)化合物與Ｏ單氧分子結合成H2O與 CO2、CO、NO2等揮發性物質經排氣排出於大氣中，被照物的表面因此而潔淨如圖。 4.U/V的改質原理 A.當短波紫外線照射到素材表層時，表層分子的主鎖、側鎖被切斷分解的同時 ，分離出Ｈ氫離子…..如圖?，與空氣中O2分離出來的O氧離子結合，而在 素材表面上形成OH或COOH或 CHO等親水性自由基…..如圖?。 B.造成素材表面形成良好的待接著狀態…..如圖?；此時易與接著劑、塗料、 Coding等中間媒介作化學結合，可形成堅固的接著強度…..如圖?；使原本 接著性弱之表面結合力（附著力）提高；接著後剝落率下降、耐濕性 \ 耐衝 擊性提昇；幫助我們達成對品質與良率的要求。 5.U/V LAMP的種類 ＵＶ－ＬＡＭＰ的分類大致可依構造方式及所發出波長分為： 低壓水銀燈管（光洗淨，表面改質185nm與254nm波長） 高壓水銀燈管（表面硬化，封止用365nm波長） Excimer-Lamp誘電激發瞬間點燈（光洗淨，表面改質172nm波長） （表面硬化，封止用308nm波長） 6.U/V LAMP的使用壽命 低壓水銀燈管 : 2,000 ~ 6,000 hr 高壓水銀燈管 : 1,000 ~ 2,000 hr EXCIMER-UV燈管 :1,000hr~1,500hr 使用壽命有關因素為： 1.種類 2.瓦特數 3.使用次數 4.使用時間 5.冷卻情況 6.正確使用與保養 7.U/V高壓及低壓LAMP工作原理 UV LAMP低壓＆高壓水銀紫外線燈管工作原理--- 即是在合成石英玻璃燈管（普通玻璃會阻礙低頻紫外線穿透） 內封入適量的水銀原子及特定氣壓，於電極充電後經電子衝擊汞蒸 汽而產生特定波長的紫外線，而影響燈管壽命的因素最主要便是因 材質老化造成紫外線光量的衰退。故一般LAMP的life-time（更換小 時）是指該on-line機台因應製程需求訂出的最少需求光量；當LAMP 光量出力值衰退至不符製程所需時，雖然LAMP仍可點亮很長一段時 間，仍需將其更換。但off-line生產線則可以將工件照射時間（Take Time）延長來獲得需求光量，其工作壽命可較接近真實壽命。 而UV露光量 ( mJ / cm2 ) = UV照度 ( mW / cm2 ) × 照射時間 ( S秒) 每㎝2玻璃基板所接受的UV露光量 mJ等於㎝2上UV燈的照度mW乘以照射的時間S。 8.低溫的UV光硬化爐構成要訣 低溫的UV光硬化爐構成要訣： （水銀LAMP ＋ Cut Mirror反射濾光片 ＋ Cut Filter裁光濾光片） ＝ 利用將金屬化合物薄膜蒸著於Glass上使其具有保留並強化UV 硬化光波＋過濾IR熱線及雜波的能力。 9.高壓水銀燈構成要訣 10.Excimer – Lamp 誘電激發瞬間 點燈工作原理 瞬間LAMP是充填了gass和鹵素烯gass二重構造的石英管經由高壓放電產生微小放電 並且原子勵起（Excite），未勵起的原子和二重體（dimer）形成激光狀態，再從此狀 態回到基底狀態的技術中放射出特定波長的光。代表波長的LAMP有172nm（氙）、 222nm（氪氯化物）、308nm（氙氯化物） 發光原理： 在金屬電極和金屬網電極間施以 交流高電壓的話，在內側和外側 的石英玻璃間有多數的放電離子 產生依此放電離子、勵起放電氣 體的原子，瞬間成為激光狀態。 從此激光狀態回復到原始狀態 時，172nm的激光發生 11.Excimer – Lamp 與 低壓水銀燈管之差異點 ◎瞬間點燈、熄燈、點燈可能--不要加溫時間，只在必要時點燈 ◎低消費電力 -- 高效率(發光能量約為投入電力的10% ) ◎發光波長是單一高能量短波長，不含熱線，工作物溫度低下 ◎可隨意的