引言及真空技术基础答案.ppt

薄膜材料制备技术 参考书及参考资料网址 参考书：《薄膜材料制备原理、技术及应用》 冶金出版社 1998年5月第一版，2003年1月第二版 邮箱地址：wztang_teaching@ 密码： 123456 邮箱地址：wztang_teaching@ 密码： 123456 引 言 薄膜材料 薄膜材料的应用 薄膜技术所研究的内容 薄膜材料的定义 利用特殊的技术手段, 人为制得的、其一维尺度显著小于另外两维尺度的、具有特定性能与用途的材料. A thin film is a layer of material with a high surface-to-volume ratio. It is a very thin coating applied to things that we use everyday.? Thin Films can be made of many different materials and can be applied to almost any surface. It is an important and exciting branch of material science. ? 薄膜材料的特点 一般并不是单独存在的 结合了不同材料的不同特性 种类繁多 需要使用特殊的制备与研究方法 为什么要发展薄膜材料 薄膜材料的应用 耐磨、防腐与装饰涂层 光学涂层 光电薄膜 微电子技术 磁存储技术 微机电系统 …… 光学涂层材料 光电薄膜材料 薄膜材料技术的研究内容 早期的薄膜制备方法 小结: 现代的薄膜材料科学与技术 第一讲 薄膜技术的真空技术基础 Fundamentals of vacuum technology in thin films techniques 要 点 气体分子运动论的基本概念 真空获得的手段 真空度的测量 根据Knudsen准数Kn: Kn 1: 分子流状态 Kn 110 粘滞流状态 气体分子对单位面积表面的碰撞频率，称单位面积上气体分子的通量 在薄膜技术领域，人为地将真空环境粗略地划分为: 低真空 102 Pa 中真空 102 ?10-1 Pa 高真空 10-1 ?10-5 Pa 超高真空 10-5 Pa 为获得真空环境，需要选用不同的真空泵，而它们的一个主要指标是其抽速Sp，其定义为 L/s 真空泵的抽速Sp与管路的流导C有着相同的物理量纲，且二者对维持系统的真空度起着同样重要的作用 第一讲 小结 薄膜材料在现代科技领域占有重要的地位，可作为大家今后作为材料科学家或工程师的职业方向 真空技术是现代薄膜材料技术的基础 不同的薄膜制备方法涉及到不同的真空环境——真空度 不同的真空度需要采用不同的真空获得方法与真空测量方法 基本概念复习 为什么在薄膜制备技术的讨论中，先要讨论真空环境与真空技术？ 熟悉真空度的物理单位及其相互换算。 根据气体流动状态所表现出的特性，我们是如何划分气体流动状态的？ 说明分子通量的物理意义？讨论分子通量是如何影响薄膜纯度和薄膜沉积速率的。 了解真空泵的主要性能指标。 了解主要的真空泵种类。 了解主要的真空测量方法。 简要说明典型薄膜制备系统的组成。 目前，SEM已经成为材料研究的重要（最重要）工具。 与光学显微镜相比，两个特点： 1）放大倍率范围大（10-100,1000），相对光镜 的约2000倍 2）景深提高约300倍 X-射线分为： 荧光x-射线（特征谱），与元素有关， 用于分析成分，即电子探针功能 连续谱 X-射线的检测方法有二： 1）EDX： 用检测器 限于分析11（Na）或5（B）号以上元素， 灵敏度达0.1%，有时相近元素峰峰相互重叠。 分析速度快 2）WDX：用检测器 可分析11（Na）或5（B）号以上元素， 灵敏度达0.01%。可分辨相近元素 分析速度慢 X-射线分为： 荧光x-射线（特征谱），与元素有关， 用于分析成分，即电子探针功能 连续谱 X-射线的检测方法有二： 1）EDX： 用检测器 限于分析11（Na）或5（B）号以上元素， 灵敏度达0.1%，有时相近元素峰峰相互重叠。 分析速度快 2）WDX：用检测器 可分析11（Na）或5（B）号以上元素， 灵敏度达0.01%。可分辨相近元素 分析速度慢 X-射线分为： 荧光x-射线（特征谱），与元素有关， 用于分析成分，即电子探针功能 连续谱 X-射线的检测方法有二： 1）EDX： 用检测器 限于分析11（Na）或5（B）号以上元素， 灵敏度达0.1%，有时相近元素峰峰相互重叠。 分析速度快 2）WDX：用检测器 可分析11（Na）或5（B）号以上元素， 灵敏度达0.01%。可分辨相近元素 分析