- 1、本文档共67页,可阅读全部内容。
- 2、原创力文档(book118)网站文档一经付费(服务费),不意味着购买了该文档的版权,仅供个人/单位学习、研究之用,不得用于商业用途,未经授权,严禁复制、发行、汇编、翻译或者网络传播等,侵权必究。
- 3、本站所有内容均由合作方或网友上传,本站不对文档的完整性、权威性及其观点立场正确性做任何保证或承诺!文档内容仅供研究参考,付费前请自行鉴别。如您付费,意味着您自己接受本站规则且自行承担风险,本站不退款、不进行额外附加服务;查看《如何避免下载的几个坑》。如果您已付费下载过本站文档,您可以点击 这里二次下载。
- 4、如文档侵犯商业秘密、侵犯著作权、侵犯人身权等,请点击“版权申诉”(推荐),也可以打举报电话:400-050-0827(电话支持时间:9:00-18:30)。
查看更多
一.概述
二.离子束加工原理
三.离子束加工特点
四.离子束离子源
五.离子束应用范围
六.等离子体加工
七.等离子体加工特点
八.等离子体加工应用
九.现状与发展趋势
; 一.概述
发展史
纵观离子束技术发展史,最早可追溯到本世纪初。1906年哥达德(Goddard)提出,在宇宙空间可借助电力方法推进空间载体运行。自此,很多空间电推进力装置的设想相继而生。开拓这个领域的先驱们不约而同地发现,电场加速离子方法在实现空间飞行使命将具有极大的潜力和可行性,因为离子的高冲量无疑是最理想的推进手段。从此,解开了人类探索空间的新纪元。
1960年美国航空航天局拟定了一项空间飞行计划,决定研制控制卫星姿态的电推进器系统(EBTS),由卡夫曼(Kaufman)教授主持设计宽束低束流密度的电子轰击电推进器,经过近十年完成了代号为SERT—???、Ⅱ和Ⅲ型的飞行实验,取得了突破性的进展。从此,这种离子发动机称之为Kaufman离子源。不久,贝尔(Bell)实验室的专家们把这种大口径均匀离子发射技术转移到地面应用,开拓了离子束刻蚀(IBE)工艺技术,显示出超微细结构的加工能力。从原理上看,在空间与地面应用并无本质的区别,前者需要的是发射大面积重离子(Hg)均匀束,目的是给卫星系统提供足够大的比推;后者则采用惰性气体(Ar)作为工质,使均匀的离子束入射到材料表面,产生预期的刻蚀效果。由于空间和地面工作环境极不相同,因此,离子发射装置的设计要求各有偏重。在地面上更关心的是满足刻蚀工艺的需要和技
;术商用化。
经过近30年的发展,各技术发达国家已普遍使用这项技术于科学家研究和军事目的。其中,美国起步早,水平高,研究深入,普及广泛。其次是日本、英国、中国等。然而,从技术应用的深度和广度来看,这项技术仍然是一项年轻的技术,未来发展的规模和对高科技的影响尚难估计。不过可以肯定,用这个带有能量的离子作为超微型技术炮弹,将会轰开许多科技奥秘的大门,闪烁出耀眼的科技光彩。;新闻
中国具备研发磁流变和离子束抛光装备能力——世界唯一
1纳米有多长?相当于一根头发丝直径的1/80000。亚纳米有多长?小于1纳米!1月中旬,国防科大精密工程创新团队自主研制的磁流变和离子束两种超精抛光装备,创造了光学零件加工的亚纳米精度,并通过国家权威部门验收。据专家介绍,这一成果使我国成为继美国、德国之后第3个掌握高精度光学零件制造加工技术的国家,并成为世界上唯一同时具有磁流变和离子束抛光装备研发能力的国家。
纳米精度被誉为超精密加工技术“皇冠上的明珠”。20世纪90年代,我国大多采用“手工+机械抛光”的传统加工技术,无法进行大口径、高精度、复杂面形的光学零件加工。国防科大精密工程创新团队在李圣怡教授率领下,经过20多年顽强拼搏,突破重重技术瓶颈,自主研制出磁流变、离子束两种超精抛光装备,创造出我国光学零件加工领域的亚纳米精度。
近3年来,该团队先后与中国科学院、中国航天科技集团等单位合作,推动我国空间光学、高端装备制造发展,自主研制出两大类7个型号的磁流变和离子束抛光机床,取得了显著经济效益和社会效益。该团队先后获得科技部重大科技专项颁发的“突出贡献奖”和“突出成果奖”。;离子束加工是在真空条件下,先由电子枪产生电子束,再引入已抽成真空且充满惰性气体之电离室中,使低压惰性气体离子化。由负极引出阳离子又经加速、集束等步骤,最后射入工件表面。
;三.离子束加工特点;与电子束相比
(1)相同点:在真空条件中进行;粒子束加工
(2)不同点:带正电荷的离子,质量比电子大数千、数万倍,如氩离子的质量是电子的7.2万倍;是靠微观的机械撞击能量来加工的,离子束比电子束具有更大的撞击动能。;加工装置:离子源、真空系统、控制系统、电源
根据离子源产生的方式和用途的不同,离子源有很多形式,常用的有:
(1)考夫曼型离子源
;(2)双等离子体型离子源
; 真空系统
在离子束设备中,真空系统的好坏直接影响该设备离子源寿命的长短、束流品质和离子束工作效果的优劣。真空系统的主要作用如下:
1.提供产生束流环境。束斑尺寸范围从几十纳米到几百纳米,为亚微米级或纳米级,很容易受到大气分子的干扰,不能穿越空气,需要真空系统给它提供一个超真空环境。
2.提供束流工作环境。设备工作时,工件和离子束都需要一个非常“洁净”的环境,否则会污染工件和影响束流的工作。如果离子束通道和工作室受到污染,而污染物一般是绝缘的,这样就会产生静电积累,使束流轨迹发生偏移,直接影响离子束的工作效果,如果静电积累严重到发生放电现象,离子束设备就根本无法工作。
3.真空度的
您可能关注的文档
- 升压boost变换器浅析.ppt
- 雷电基础及防雷方案预案.ppt
- 流体力学-第八章预案.ppt
- 武汉大学过电压论述.docx
- 生产测井仪器浅析.ppt
- 流体力学第二版(蔡增基)第二章预案.ppt
- 雷电危害机理预案.ppt
- 武汉大学继电保护仿真2论述.docx
- 雷电知识与预防措施预案.ppt
- 生产测井-注入剖面浅析.ppt
- 浙江衢州市卫生健康委员会衢州市直公立医院高层次紧缺人才招聘11人笔试模拟试题参考答案详解.docx
- 浙江温州泰顺县退役军人事务局招聘编外工作人员笔试备考题库及参考答案详解一套.docx
- 江苏靖江市数据局公开招聘编外工作人员笔试模拟试题及参考答案详解.docx
- 广东茂名市公安局电白分局招聘警务辅助人员40人笔试模拟试题带答案详解.docx
- 江苏盐城市大丰区住房和城乡建设局招聘劳务派遣工作人员4人笔试模拟试题带答案详解.docx
- 浙江舟山岱山县东沙镇人民政府招聘笔试模拟试题及参考答案详解1套.docx
- 最高人民检察院直属事业单位2025年度公开招聘工作人员笔试模拟试题含答案详解.docx
- 浙江金华市委宣传部、中共金华市委网信办所属事业单位选调工作人员笔试备考题库及答案详解1套.docx
- 广东深圳市党建组织员招聘40人笔试模拟试题及答案详解1套.docx
- 江苏南京水利科学研究院招聘非在编工作人员4人笔试模拟试题及参考答案详解.docx
文档评论(0)