附加内容1：电子光学基础.ppt

附加1 电子光学基础;1.1 电子特性与电磁透镜;比可见光波长更短的电磁波有： 1）紫外线 ： 会被物体强烈的吸收； 2）X射线 ：因为折射率近似1，很难会聚 ，但近几年开始采用波带片和针孔对X射线的衍射现象制作软X射线显微镜； 3）电子波：根据德布罗意物质波的假设，即电子具有微粒性，也具有波动性。 电子既有一定的质量又带有电荷，可在磁场和电场中偏转，方便制作电子显微镜。;二、电子波的波长;其中;三、电磁透镜;电磁透镜和静电透镜相比有如下的优点;;一束平行于主轴的入射电子束通过电磁透镜将被聚焦在轴线上一点，即焦点F;; 与光学玻璃透镜相似，电磁透镜物距L1、像距L2和焦距f、放大倍数M之间关系式为;焦距 f 可由下式求得; 有极靴的透镜极靴使得磁场被聚焦在极靴上下的间隔h内，h可以小到几个mm。在这小的区域内，磁场强度得到加强。;1.2 电磁透镜的像差与分辨本领;（一） 球 差; 像平面上最小漫散圆斑的半径为 还原到物平面，则 为球差系数，相当于焦距的大小，随透镜激磁电流增大而减小。 为孔径角，透镜分辨本领随 增大而迅速变坏。;5 nm;像差是由透镜磁场的非旋转对称而引起的。;最小漫散圆斑，其平均半径为 还原到物平面 为像散引起的最大焦距差； ;（三）色差 色差是由于入射电子波长（或能量）不同造成的。;引起电子束能量变化的主要有两个原因： 一是电子的加速电压不稳定； 二是电子束照射到试样时，和试样相互作用，一部分电子发生非弹性散射，致使电子的能量发生变化。 使用薄试样和小孔径光阑将散射角大的非弹性散射电子挡掉，将有助于减小色散。;二、分辨本领;;; 在电磁透镜中，球差对分辨本领的影响最为重要，因为没有一种简便的方法使其矫正，而其它像差，可以通过一些方法消除。 同时考虑球差和衍射效应对分辨本领的影响：;1.3 电磁透镜的景深和焦长;一、景深;