传感器原理应用-第9章导论.ppt

传感器原理及应用 Principles and Applications of Sensors 主讲：王殿生 教授 第九章 作 业 第二版教材168页： 练习题：9-1，9-3，9-4第三版教材165页： 练习题：9-1，9-3，9-4 第九章 半导体传感器 半导体传感器的定义 以半导体材料为敏感元件，通过半导体材料电特性的物性变化将被测量变化转换为电量变化的传感器。 半导体传感器的感测量 浓度、湿度、成分、波长等。 半导体传感器的种类 根据检测对象：气敏、湿敏、色敏等传感器。 第九章 半导体传感器 9.1 气敏传感器 9.2 湿敏传感 9.3 色敏传感器 9.4 半导体传感器应用 气敏传感器： 通过气-电转换来检测气体类别、浓度和成分的传感器。 按构成气敏传感器材料可分为： 半导体和非半导体两大类。 目前半导体气敏传感器实际使用最多。 半导体气敏传感器: 利用待测气体与半导体表面接触时产生的电导率等物理性质变化来检测气体。 一、气敏传感器的定义和种类 §9.1 气敏传感器 半导体气敏传感器分类: 按半导体与气体相互作用时产生的变化只限于半导体表面或深入到半导体内部可分为： 表面控制型和体控制型。 表面控制型：半导体表面吸附气体与半导体间发生电子接受，结果使半导体的电导率等物理性质发生变化，但内部化学组成不变。 体控制型：半导体与气体的反应，半导体内部组成发生变化，导致电导率等参量变化。 半导体气敏传感器分类: 按照半导体变化的物理特性又可分为：电阻型和非电阻型。 一、气敏传感器的定义和种类 §9.1 气敏传感器 电阻型：通过半导体敏感材料接触气体时阻值变化来检测气体的成分或浓度。 非电阻型：通过半导体气敏元件的其它参数变化来检测被测气体，如二极管伏安特性和场效应晶体管的阈值电压变化。 二、电阻型半导体气敏传感器 §9.1 气敏传感器 电阻型半导体气敏传感器利用气体在半导体表面的氧化和还原反应导致敏感元件阻值变化而制成的。 当半导体器件被加热到稳定状态，在气体接触半导体表面而被吸附时，被吸附的分子先在表面物性自由扩散，失去运动能量，一部分分子被蒸发掉，另一部分残留分子产生热分解而固定在吸附处（化学吸附）。 1、工作机理 （1）氧化型气体：半导体的功函数小于吸附分子的亲和力时，吸附分子从器件夺得电子而变成负离子吸附，半导体表面呈现电荷层。氧气等具有负离子吸附倾向的气体称为氧化型或电子接收性气体。 （2）还原型气体：半导体的功函数大于吸附分子的离解能，吸附分子向器件释放出电子，而形成正离子吸附。具有正离子吸附倾向的气体有H2、CO、碳氢化合物和醇类，称为还原型气体或电子供给性气体。 二、电阻型半导体气敏传感器 §9.1 气敏传感器 当氧化型气体吸附到N型、还原型气体吸附到P型半导体上时，半导体载流子减少，而使电阻值增大。 当还原型气体吸附到N型、氧化型气体吸附到P型半导体上时，则载流子增多，使半导体电阻值下降。 1、工作机理 半导体气敏时间(响应时间)一般不超过1min。 N型材料有SnO2、ZnO、TiO等，P型材料有MoO2、CrO3等。 气体浓度发生变化，阻值也变化。据此，可从阻值的变化得知吸附气体的种类和浓度。 （1）烧结型气敏器件 氧化物半导体材料为基体，铂电极和加热丝埋入材料中，用加热、加压的制陶工艺烧结成形。因此，被称为半导体陶瓷， 简称半导瓷。半导瓷内的晶粒直径为1μm左右，晶粒的大小对电阻有一定影响，但对气体检测灵敏度则无很大的影响。 二、电阻型半导体气敏传感器 §9.1 气敏传感器 气敏器件有烧结型、薄膜型和厚膜型三种。 2、基本结构 烧结型器件制作方法简单，器件寿命长；但由于烧结不充分，器件机械强度不高，电极材料较贵重，电性能一致性较差，因此应用受到一定限制 。 （2）薄膜型气敏器件 采用蒸发或溅射工艺，在石英基片上形成厚度约100nm氧化物半导体薄膜，制作方法简单。 半导体薄膜的气敏特性最好，但半导体薄膜为物理性附着，器件间性能差异较大。 二、电阻型半导体气敏传感器 §9.1 气敏传感器 2、基本结构 这种元件机械强度高，离散度小，适合批量生产。 （3）厚膜型气敏器件 氧化物半导体材料与硅凝胶混合制成可印刷的厚膜胶，厚膜胶再印刷到装有电极的绝缘基片上，经烧结制成的。 二、电阻型半导体气敏传感器 §9.1 气敏传感器 电阻型半导体气敏器件全部附有加热器。 加热器作用：烧掉附着在敏感元件表面上的尘埃、油雾等，加速气体的吸附，从而提高器件的灵敏度和响应速度。加热器的温度一般控制在200~400℃左右。 2、基本结构 加热方式一般有直热式和旁热式两种，因而形成了直热式和旁热式气敏器件。 （1）直热式气敏器件 加热丝、测量丝