纳秒激光刻蚀LN形成光栅的测试与分析研讨.pptxVIP

魏欣芮 纳秒激光刻蚀LN形成光栅的测试与分析 2015.3.22 Page2 纳秒激光制作LN光栅的测试与分析 纳秒激光刻蚀LN形成光栅的测试与分析 2015.3.22 Page3 工作介质、谐振腔、泵浦源 纳秒激光刻蚀LN形成光栅的测试与分析 2015.3.22 Page4 纳秒激光刻蚀LN形成光栅的测试与分析 2015.3.22 Page5 波长 纳秒激光刻蚀LN形成光栅的测试与分析 2015.3.22 Page6 纳秒激光刻蚀LN形成光栅的测试与分析 2015.3.22 Page7 立体光栅：应用于印刷、展示，具有立体效果,通过角度或摆产生幻变、动画图像列漂亮 全息光栅：应用于商标防伪、印刷、光学仪器、激光演示等 3、光栅分类： 纳秒激光刻蚀LN形成光栅的测试与分析 2015.3.22 Page8 反射光栅：光学仪器,激光演示,激光玩具 透射光栅：光学仪器,激光演示,激光玩具 以透明的铌酸锂材料制作光栅，制作透射式光栅 纳秒激光刻蚀LN形成光栅的测试与分析 2015.3.22 Page9 还可分为：一维光栅 二维光栅 纳秒激光刻蚀LN形成光栅的测试与分析 2015.3.22 Page10 根据光栅常数可分为： 纳秒激光刻蚀LN形成光栅的测试与分析 2015.3.22 Page11 制备光栅的主要方法： 利用显微物镜将激光束会聚于材料介质上，由计算机控制样品台移动，直接在材料表面曝光，刻划出连续的光栅槽形结构； 光栅周期结构的微细程度主要取决于显微物镜的倍率 纳秒激光刻蚀LN形成光栅的测试与分析 2015.3.22 Page12 DPSSL：二极管泵浦固体激光器【电光转换效率高达15%；频率稳定性好；可以得到高缝制功率的调Q脉冲输出；光束质量好；性能可靠、寿命长；】 纳秒激光刻蚀LN形成光栅的测试与分析 2015.3.22 Page13 2002.上海交通大学微纳米科学技术研究院 实验结果的SEM图片 纳秒激光刻蚀LN形成光栅的测试与分析 2015.3.22 Page14 纳秒激光刻蚀LN形成光栅的测试与分析 2015.3.22 Page15 （1）、棱镜和平面镜 （2）、分光镜（532nm） （3）、M1 纳秒激光刻蚀LN形成光栅的测试与分析 2015.3.22 Page16 双光束干涉条件：时间相干性、空间相干性 空间相干性：同一光源（为了使光束间的相位恒定，保证了单色程度一致） 时间相干性：光程差 翻阅纳秒激光器手册3-7可得 谱线宽度为：30GHz 可得： 对比：氦氖激光器的相干长度约为十几米，要求光程差为几个厘米量级 纳秒激光刻蚀LN形成光栅的测试与分析 2015.3.22 Page17 光栅常数 刻线条数 光栅槽深 一级衍射效率 也可理解为刻线距离；一般为微米量级，几到几十个微米都可制备，但多选用十几个微米最佳 一般情况下，极下限刻线条数为15条左右；刻线条数过少将观察不到衍射现像（飞秒刻蚀数据） 根据基底材料不同，有一个最佳值，不是越深越好；对于纳秒激光刻写透射式光栅，还有待实验探究 苏州大学用纳秒激光刻蚀玻璃基质铬薄膜，得槽深253nm为最佳，其在波长为532nm的激光的一级衍射效率为6.5%；（351nm，1150μJ，DPSSL） 纳秒激光刻蚀LN形成光栅的测试与分析 2015.3.22 Page18 实验参数设置： 刻蚀脉冲个数 刻蚀波长 检测波长 检测内容 10 532nm 532nm 一级衍射效率 光栅刻槽形貌 衍射级数 20 30 50 80 100 纳秒激光刻蚀LN形成光栅的测试与分析 2015.3.22 Page19 2、没有采用多波长刻蚀对比光栅质量 3、没有采用多波长检测光栅衍射效率 4、没有考虑激光能量对光栅质量的影响 纳秒激光刻蚀LN形成光栅的测试与分析 2015.3.22 Page20 恳请各位批评指正！