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《微电子工艺》课程设计 学 院： 电信学院 专 业： 电子科学与技术 班 级： 学 号： 姓 名： 指导老师： 目 录 1.课程设计目的与任务…………………………………………………………2 2.设计的内容……………………………………………………………………2 3.设计的要求与数据……………………………………………………………2 4.物理参数设计…………………………………………………………………3 4.1 各区掺杂浓度及相关参数的计算………………………………………3 4.2 集电区厚度Wc的选择……………………………………………………6 4.3 基区宽度WB………………………………………………………………6 4.4 扩散结深…………………………………………………………………10 4.5 芯片厚度和质量…………………………………………………………10 4.6 晶体管的横向设计、结构参数的选择…………………………………10 5.工艺参数设计…………………………………………………………………11 5.1 工艺部分杂质参数………………………………………………………1