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X射线光电子能谱--仪器分析
氧化态增加 化学位移增加 例2 BeF2和BeO中的Be具有相同的氧化数(+2), 电负性F>O, 所以Be在BeF2中比在BeO中具有更高的氧化态. 例3 电负性 F?O?C?H 四个碳原子在分子中所处的化学环境不同 所以在谱图上出现四个位移不同的C1s峰 2.3 定量分析 物理模型计算法 影响因素多,误差大, 运用不多 标准样品法 正确度较好,标样难制 备,应用有局限性 灵敏度因子法 误差较大,简便快速, 应用广泛 2.3 定量分析 缺点: ⑴定量误差大,是半定量分析 ⑵一般是相对含量 ⑶受样品表面状态影响大 2.3 定量分析 灵敏度因子法 对于表面均匀的样品,特定谱峰中光电子计数为: —样品单位体积中所含被测元素的原子数(原子数/cm3) — X射线通量(光子数/cm2?秒) —测定的原子轨道光电离截面(cm2) —和入射光子与检测光电子之间夹角有关的效率因子 —光电离过程中产生所测定光电子能量的光电子数效率(光电子数/光子) —样品中光电子平均自由程(?) —采样面积(cm2) —检测从样品中发射的光电子的效率 所以 —元素灵敏度因子, 也叫原子灵敏度因子 各元素的相对含量 进一步可得 i----样品所含的某种元素 x----待测元素 Cx----X元素在样品中所占的原子分数 只要测得各元素特征谱线的强度(常用峰面积),再利用相应的元素灵敏度因子,便可得到相对浓度. 注意:影响定量分析的因素很多,如:样品表面组分不均匀,表面污染,化学状态不同对光电离截面的影响等,所以误差一般较大. -CF2-n 有机官能团定量分析 可以判别不同化学环境的同种原子,并测定它们的相对含量 样品 1,2,4,5-苯甲四酸 1,2-苯甲二酸 苯甲酸 两个C1s峰 表明有两种碳原子 高结合能 羧基碳 低结合能 苯环碳 两峰峰面积比 羧基碳与苯环碳 原子个数比 4:6 2:6 1:6 可估算苯环上取代基的数目 痕量分析 绝对灵敏度高 表面灵敏度高 只要(1)能把痕量金属离子同大量物质 分开 (2)能将被测元素富集或浓缩在 基片上 可以做痕量分析 最低检测浓度可 达ppt级(10-12) 高灵敏度和选择性 操作简便,重复性好 2.4 深度分析 择优溅射问题 损伤 离子溅射 应注意 还原效应问题 表面粗糙度问题 非损伤 改变电子发射角度 变角XPS技术 –非损伤深度分析 d D ? e h? 取样深度示意图 取样深度D?10nm 变角XPS技术 –非损伤深度分析 式中 D是光电子出射角与样品法线夹角为θ时的信息深度 d是光电子出射角与样品法线夹角为0?时的信息深度 由Lambert指数衰减定律 Id=I?(1-e-d/?) Id---厚度为d的信号强度 I?---无穷厚层的信号强度 当d=3?时,Id=0.95I? ?可以粗略地用 来计算。 例:用变角X光电子能谱技术对非均相高分子材料进行非损伤的层结构分析 软段结构 —O—CH2—CH2—CH2—CH2—n 硬段结构—HN—CO—NH— —CH2— —NH—CO—NH—CH2—CH2 —n 由于N1s,O1s峰在动能1000eV左右,所以当射线垂直人射时,d≈3?≈3 ≈10nm。改变入射角θ,可以得到不同深度的信息。 取样深度从10n
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