传感器第5章 压电式传感器.ppt

第五章 压电式传感器 图5-22（b）为串联形式，正电荷集中在上极板，负电荷集中在下极板，而中间的极板上产生的负电荷与下片产生的正电荷相互抵消。从图中可知，输出的总电荷q’等于单片电荷q，而输出电压U’为单片电压U的二倍，总电容C’为单片电容C的一半，即 q’=q; U’=2U; C’=C 在两种接法中，并联接法输出电荷大，时间常数大，宜用于测量缓变信号，并且适用于以电荷作为输出量的场合。而串联接法，输出电压大，本身电容小，适用于以电压作为输出信号，且测量电路输入阻抗很高的场合。 (二)动态响应 压电式加速度传感器可用质量m，弹簧k、阻尼c的二阶系统来模拟，如图5-23所示。设被测振动体位移x，质量块相对位移x，则质量块与被测振动体的相对位移为x，即x= x－x根据牛顿第二定律有： m= =﹣c －k x1 (5-33) 图5-23 二阶模拟系统 将x1= xm－x0代入上式为 m =﹣c ( xm－x0)－k(xm－x0) 将上式改写为 + + ( xm－x0) =﹣ 并设输入加速度a0 = ，输出为（xm－x0）,并引入算 子 (D= ) ，将上式变为0，式中ε— 相对阻尼系 数， ω0—固有频率 ω0= . 将上式写成频率传递函数，则有 （jω）= (5-35) 其幅频特性为 = （5-36） 相频特性 φ=﹣arctan (5-37) 由于质量块与被测振动体相对位移x－x，也就是压电元件受力后产生的变形量，于是有 F=ky（xm－x0） （5-38） 式中ky—压电元件弹性系数。 当力F作用在压电元件上，则产生的电荷为 q=d33 F= d33 ky（xm－x0） (5-39) 将上式代入（5-36）式，便得到压电式加速度传感器灵敏度与频率的关系式 = （5-40） 图5-24曲线表示压电式加速度传感器的频率响应特性。由图中曲线看出，当被测体频率ω远小于传感器固有频率ω时，传感器的相对灵敏度为常数，即 ≈ （5-41） 由于传感器固有频率很高，因此频率范围较宽，一般在几H到几千H。但是需要指出，传感器低频响应与前置放大器有关。若采用电压前置放大器，那么低频响应将取决于变换电路的时间常数τ。前置放大器输入电阻越大，则传感器下限频率越低。 图5-24 加速度传感器的频响特性 5.4.2压电式压力传感器 根据使用要求不同，压电式测压传感器有各种不同的结构形式，但它们的基本原理相同。 图5-25 压电式测压传感器的原理简图 1---引线 2---壳体 3---基座 4---压电晶片 5---受压膜片 6---导电片 5.5~6 100~120 d 薄膜 复合材料PVF PZT 1.8 -120 5 d 延伸 薄膜 聚二氟乙 烯 PVF 5.68 11.0 9.26 d d d 单品 氧化锌 ZnO 5.2.2压电陶瓷 目前已研制成将氧化锌（ZnO）膜制作在MOS晶体管栅极上的PI-MOS力敏器件。当力作用在ZnO薄膜上，由压电效应产生电荷并加在MOS管栅极上，从而改变了漏极电流。这种力敏器件具有灵活度高，响应时间短等优点。此外用ZnO作为表面声波振荡器的压电材料，可测取力和温度等参数。 表中聚二氟乙烯（PVF）是目前发现的压电效应薄膜较强的聚合物薄膜，这种合成高分子就其对称性来看，不存在压电效应，但是这些物质具有“平面锯齿”结构，存在抵消不了的偶极子。经延展和拉伸后可以使分子链轴成规则排列，并在分子轴垂直方向上产生自发极化偶极子。当在膜方向加直流高压电场极化后，就可以成为具有压电性能的高分子薄膜。这种薄膜有可挠性，并容易制成大面积压电元件。这种元件耐冲击、不易破碎、稳定性好、频带宽。为提高其压电性能还可以掺入压电陶瓷粉末，制成混合复合材料（PVF-PZT）。 5.3 压电式传感器的测量电路 5.3.1等效电路 当压电传感器中的压电晶体承受被测机械应力的作