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衬底质量标准
表面取向C面（0001）±0.1°R面（1102）±0.1A面（11 2 0）±0.1°M面（1010）±0.1°参考面取向A面（11 2 0）±0.5°或M面（1010）±0.5°C轴在（11 2 0）面上的投影逆时针旋转45°±0.5°C面（0001）±0.5°或R面（1102）±0.5C面（0001）±0.5°一、表面取向和参考面取向二、参考面尺寸衬底直径(mm)50.876.2100参考面长度(mm)15～1721～2331.5～33.5三、外形尺寸及偏差直径50.80±0.176.20±0.25100.00±1.00中心点厚度0.330±0.025或0.430±0.0250.330±0.025或0.430±0.0250.525±0.025弯曲度≤0.01≤0.01≤0.04翘曲度≤0.01≤0.01≤0.04总厚度变化≤0.01≤0.01≤0.05蓝宝石结晶学图蓝宝石常见测量衬底图
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