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微加速度计设计 中北大学 微米纳米技术研究中心 一、压阻式微加速度计的工作原理 二、硅材料的选择 (a)和(b)为悬臂梁式结构，优点是灵敏度高，但其一阶固有频率低，频率响应范围窄，且横向灵敏度较大。 (c)～(g)为固支梁结构 ，其一阶固有频率比悬臂梁式结构高得多，有利于扩大传感器的频率响应范围。但在电桥中压敏电阻数量相同的情况下，其灵敏度低于悬臂梁式结构。 (g)图所示的四边八梁结构横向灵敏度最低，但其输出灵敏度也最低。 综合考虑，所要设计的传感器采用 双端四梁结构(e)，该结构在保证一定的输出灵敏度的基础上能够较好地解决横向灵敏度的问题。 边界约束主要考虑加工工艺的影响，根据某加工单位的实际加工水平提出的约束条件如下： 2) 梁宽（b1）： b1= μm； 3) 梁长（L1） ： L1 = μm； 4) 梁厚（h1）： h1= μm； 5) 质量块厚度（h2） h2= μm; 由于要在同一批工艺中同时实现复合量程微加速度计中的四个结构，因此四个结构中质量块的厚度、梁的厚度必须一致。 作 业 1、简述MEMS加速度计的设计步骤。 2、列出MEMS加速度计的各种分类方法。 3、简述MEMS加速度计的基本工作原理。 4、列出MEMS陀螺仪的各种