《机械工程测试技术》第三章.pptVIP

第三章 常用的传感器 §3-1 常用传感器分类 一、按输入量分类（适合工程技术领域）： 按被测量分类，以被测量名称命名 位移传感器 力传感器 温度传感器 §3-2 机械式传感器 以弹性体作为传感器的敏感元件，又称为弹性敏感元件。 输入量：力、压力、温度 输出：弹性元件本身的变形 → 转变为仪表指针的偏转。 如：测力计、弹簧秤；波纹膜片；双金属片 特点：结构简单、可靠、使用方便、价格低廉、读数直观。 缺点：放大和指示环节存在间隙，惯性大，固有频率低。 因此，在非电量电测传感器中，常将被测量转化为弹性变形，然后再将位移转化为电量输出。 注意：弹性元件有蠕变、弹性滞后效应，影响输 入、输出的线性关系！ 从结构设计、材料选择、工艺方法等方面加以克服。 例如：DWY－2电容式振动位移测量仪（变δ） δo＝1.32mm, 可测位移量：±0.05~±100μm 频率范围： 10kHZ 测头面积： Φ14.2mm Z～（线圈与金属板距离δ 金属板电阻率ρ 磁导率μ 线圈激磁频率ω）应用：变化δ, 测位移、振动 变化ρ或 μ，材质鉴别探伤 二、 压电式传感器 被测机械量——压电敏感元件的电荷输出 三、热电式传感器 将被测量（温度）转化为电量变化 1、热电偶 2、热电阻 一、光电测量原理 1. 外光电效应 2.内光电效应 3.光生伏打效应 二、光电元件 1. 光电管 §3-5 光电式传感器（自学为主） 在恒定工作电压和入射光频率成分条件下，光电管接受的入射光通量与输出光电流成比例关系 2. 光电倍增管 光电倍增管结构与电路 3、光敏电阻 光敏电阻是一种光电导元件，其工作原理是基于半导体材料的内光电效应。当半导体受到光照射时，其电阻值减小的现象。 光敏电阻阻值与光的波长有关。 受温度影响大。 4、光敏晶体管 光敏二极晶体管 光敏三极管 和光电池、光敏二极管比较，光敏三极管具有输出信号大，产生光电流部分与放大部分集中在一起，具有良好的抗噪声能力，响应速度慢些。 三、光电传感器的应用 §3-6 光纤传感器 定义：将被测量的变化转换为光波变化的传感器。 光波变化包括：光波强度、频率、相位、偏振 光纤传感器以光学量转换为基础，以光信号为变换和传输的载体，利用光导纤维输送信号。 把光波随被测量的变化而变化，称为对光的调制。 分为：强度调制、频率调制、相位调制和偏振调制。 一、分类 光纤传感器：功能型 传光型 二、光纤导光原理 三、光纤传感器的应用 接受的光强与位移 X 有关 特点： 线性测量范围大，可达±100mm 精度高，分辨率可达0.1μm， 稳定性好,使用方便， 频率响应：0～200Hz（频率响应低） 由eo的绝对值大小可知x的值（位置） 由eo的极性可知x相对中间位置的方向（方向） 应用：电感式位移传感器 测力（借助弹性元件将压力、重量?位移） §3-4 磁电、压电与热电式传感器 将被测物理量转换为感应电动势，又称电磁感应式。 匝数N的线圈，穿过线圈的磁通Φ发生变化，产生感应电动势 e。 磁通变化率：磁场强度，磁阻，线圈运动速度 一、 磁电式传感器 1、 动圈式（线圈以v 或ω运动，产生e） 磁电式传感器的工作原理是可逆的。 线圈中流过信号电流 i ，电磁转矩使线圈转动，转动角度θ与 i 成正比。 如：笔式记录仪，光线示波器等 若线圈上加上交变激励电压，线圈在磁场中振动，成为激振器（麦克、喇叭） 2、磁阻式（线圈、磁铁不动，运动物体改变磁阻） 以某些材料的压电效应为基础，外力作用下，材料表面产生电荷，非电量转化为电量。 1、压电材料与压电效应 压电效应 正压电效应：某些晶体在其表面施加力，不仅几何尺寸发生变化，而且内部极化，在其表面出现电荷，形成电场；当外力消失时，材料重新回复到原来状态，这种现象成为正压电效应。 逆压电效应：将这些晶体置于电场中，其几何尺寸也发生变化，这种由于外电场作用导致物质的机械变形的现象，称为逆压电效应， 或称为电致伸缩效应。 压电材料 ①压电单晶——石英、铌酸锂，稳定性好，灵敏度低 ②压电陶瓷——钛酸钡、锆钛酸铅，稳定性差，灵敏度高 ③有机压电薄膜——聚丙二氟乙烯（PVPF），灵敏度低，用于微压、拟人触觉，大面积生产，柔软不易碎。 2、石英晶体的正压电效应 石英晶体成分SiO2，其基本结构为六棱柱体，石英晶体的直角坐标： X-X——压电轴, Y-Y——机械轴, Z-Z——光轴 在石英晶体中切出一个平行六面体，其对表面分别垂直于X、Y、Z轴。