W-FAC-COM-027Rev000PV运行操作指导.docVIP

Document Control Document number:W-FAC-COM-027 Subject: PV Operation Instruction 标题: PV运行操作指导 Fujisawa reference no:N/A Revision 版本 : 000 Prepared by 起草人: Tiancheng Zhao Department 部门 : Facility Content Subject Page 1.0 目的 3 2.0 范围 3 3.0 职责 3 4.0 定义 3 5.0 程序 3 6.0 相关资料 6 7.0 记录 6 1.0 目的 规范运行、操作程序，确保日立设施管理的流畅； 2.0 范围 日立龙岗工厂2台 nash_elmo Process Vacuum(PV)； 3.0 职责 运行技术员：负责PV运行的监控，设备的开、停、切换； 运行