ch4+微电子器件的失效分析1.pptVIP

微电子器件的失效分析 内容简介 讨论微电子器件的失效分析，包括失效模式及分布、失效模型、失效机理，失效分析的工作内容、方法与步骤，以及常用微分析技术的基本原理、方法与特点。可靠性工作不仅要了解、预计所讨论对象的可靠性水平，更重要的是要提高其可靠性。 失效分析是对失效器件进行分析检查，找出失效发生的原因，从而为改进、提高器件可靠性指明方向，所以失效分析在可靠性工程中具有重要的作用。 在半导体行业内部，失效分析是大量诊断活动的代名词，经过这些诊断活动可找到失效部位，明确失效模式和失效机理，准确地判断失效的根本原因，从而提高产品的成品率，改善产品的质量和可靠性。所以失效分析是可靠性研究工作的重要方面，也是提高可靠性的重要方法和途径。 失效分析的概念 失效分析系指产品失效后，通过对产品及其结构、使用和技术文件的系统研究，从而鉴别失效模式、确定失效原因、机理和失效演变的过程。 可靠性工作大体分为两类：一类是通过分析总结过去的管理、技术、设计、生产和试验的经验，从而形成标准、规范、手册和条例并在研制到使用的各个阶段中执行这些规定。另一类是对工作中发生的故障（失效）通过分析、试验和研究，找出故障的根源，认识它的