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丝网印刷及烧结 一、不锈钢丝网基础知识 开度（开口）：网孔面积的平方根值 线径：编织丝网不锈钢丝直径 SD56/32：表示开口为56μ，直径32μ 目数：一般是指每英寸有多少个网孔和线数 目数=25.4mm/（w+t）w开口、t线径 平均厚度：2×d（直径）×（1+5%） d 最小厚度：2×d 最大厚度：2×d×（1+20%） 丝网结构：平织：1:1 一上一下 斜织：2:2 二上二下 不锈钢丝网 不锈钢丝网的优点 1、不锈钢丝网强度大，耐磨性好，印刷次数上万次以上； 2、耐有机溶剂，且酸碱特性好，长期使用无老化、氧化现象； 3、不锈钢丝网在任何温度下含水率为零，吸湿性为零，有利于制作精细图形。象现在付栅宽度在0.125~0.15mm已属精密图形。 不锈钢丝网的不足之处 1、由于回弹力近似为零，受冲击后易破裂，凹陷后不能复原； 2、绷网时张力大，对粘网胶要求高； 3、由于吸湿性为零，采用直一向法贴膜困难； 计算机照相制阳片——绷网——丝网清洁处理——贴膜——前烘——剥离软片——曝光—— 显影——坚膜——检验 浆料一般特性简介 制造太阳电池所用的金属电极导体浆料属于厚膜浆料，所谓厚膜浆料是由一种或多种无机微粒分散在有机高分子中组成的胶状或悬浮体。通常将后者称为前者载体。载体不参与膜的组成，它在高温烧成中分解逸出，但其性质却直接影响着浆料的特性，因而也会影响厚膜的性能。无机微粒可根据浆料的特性和用途采用一种或几种材料，如金属、氧化物、玻璃。其化学性质、结构形态、颗粒大小及分布决定了厚膜的性能，它们是厚膜的真正组分。 浆料要有很好的流变性，所谓流变性是指物质在外力作用下产生形变和流动的特性。在丝网印刷的不同阶段，要求浆料既像液体，又像固体，在刮头运动的转印过程中，浆料应能很好地流动，光滑地通过丝网版掩模图形而到达基板。如多晶硅片上、在丝网上应无浆料残留，而当浆料印到基板上后，就必须固体那样不再流动和变形，以保持图形尺寸的稳定。这就是说，在印刷过程中要求浆料的粘度有明显的变化。 厚膜浆料，其粘度不但随温度变化，而且也随切应力变化，通常太阳电池电极导体浆料是触变性的，触变性流体的粘度取决于切应力的大小和切变时间。在切应力作用下，粘度迅速下降，而应力消失后又很快复原。即使在恒定的切应力下，粘度也随作用时间而减小。通常把一定切应力作用下，粘度对时间变化率很大的浆料称为高触变性浆料。 厚膜浆料的组成 厚膜浆料一般都是由三种主要成分组成，功能相、粘结相和有机载体。功能相决定电性能并影响厚膜的物理和机械性质；粘结相通常是玻璃、氧化物或者两者的混合物，它将功能相材料粘结在一起，并使膜层与基板牢固地结合起来，另外还影响着厚膜的电性能和机械性能；有机载体是一种聚合物溶解于有机溶剂中的溶液，它是功能相和粘结相微粒的运载体，控制浆料的流变特性，使之适于丝网印刷。因而载体决定了浆料的印刷特性。 浆料成分 银浆、银铝浆主要作用和太阳电池形成良好的欧姆接触特性。所谓欧姆接触是半导体与金属接触时没有形成整流接触，欧姆接触具有线性和对称的V-I特性，且接触处的电阻远小于材料体电阻的一种接触。因此当电流通过时，良好的欧姆接触处应不会产生显著的压降和功耗。从这一点可以看出太阳电池用浆料是与其它厚膜浆料不同，一般厚膜浆料是不与基板产生电作用的，因为基板都是采用绝缘材料。 如果印刷到硅片面的银膜、铝膜一旦干燥，可看成金属与晶体硅烧结，可用合金化工艺来处理。所谓合金化工艺，就是指电极金属材料和半导体单晶硅在温度达到电极材料的熔点或共晶温度时，单晶硅原子按相图以一定的比例量溶入到熔融的合金电极材料中去的。单晶硅原子溶入到电极金属中的整个过程是相当快的，一般只需几秒钟时间。溶入的单晶硅原子数目决定于合金温度和电极材料的体积，烧结合金温度愈高，电极金属材料体积愈大，则溶入的硅原子数目也愈多，这时状态被称之为晶体——电极金属的合金系统。如果此时降低温度，系统开始冷却，这时原先溶入到熔融到电极金属材料中的硅原子，重新以固态形式结晶出来，也就是在金属和晶体接触界面上生长出一层新的晶体层——再结晶层。如果再结晶层内含有足够量的与原先晶体材料导电类型相同杂质成份，则形成n+—n结和p+—p结这一类高低结。3398、55-038浆料功能是这样的：如果再结晶层内含有足够量与原先晶体材料内导电类型异型的杂质成份，这就获得了用合金法工艺形成p—n结。银浆3349功能就是这样的。 如果再结晶层内杂质浓度大于1019/cm3，形成欧姆接触是高掺杂接触，如果再结晶层内浓度低于1019/cm3，铝、银与硅的功函数相近，可形成低势垒接触的欧姆接触 * * 松油醇、乙基纤维 有机载体 SiO2 PbO B2O3等 Si