原创力文档- 1、原创力文档（book118）网站文档一经付费（服务费），不意味着购买了该文档的版权，仅供个人/单位学习、研究之用，不得用于商业用途，未经授权，严禁复制、发行、汇编、翻译或者网络传播等，侵权必究。。
- 2、本站所有内容均由合作方或网友上传，本站不对文档的完整性、权威性及其观点立场正确性做任何保证或承诺！文档内容仅供研究参考，付费前请自行鉴别。如您付费，意味着您自己接受本站规则且自行承担风险，本站不退款、不进行额外附加服务；查看《如何避免下载的几个坑》。如果您已付费下载过本站文档，您可以点击 这里二次下载。
- 3、如文档侵犯商业秘密、侵犯著作权、侵犯人身权等，请点击“版权申诉”（推荐），也可以打举报电话：400-050-0827(电话支持时间：9:00-18:30)。
- 4、该文档为VIP文档，如果想要下载，成为VIP会员后，下载免费。
- 5、成为VIP后，下载本文档将扣除1次下载权益。下载后，不支持退款、换文档。如有疑问请联系我们。
- 6、成为VIP后，您将拥有八大权益，权益包括：VIP文档下载权益、阅读免打扰、文档格式转换、高级专利检索、专属身份标志、高级客服、多端互通、版权登记。
- 7、VIP文档为合作方或网友上传，每下载1次， 网站将根据用户上传文档的质量评分、类型等，对文档贡献者给予高额补贴、流量扶持。如果你也想贡献VIP文档。上传文档
查看更多
8 寸化学清洗蚀刻区使用注意事项 本设备仅供半导体前段制程之8 寸晶
吋化學清洗蝕刻區使用注意事項
本設備僅供半導體前段製程之 8 吋晶圓清洗及光阻去除作業使用，後段製程 8 吋清洗及濕蝕刻作業，請至 NDL 後段專屬之化學清洗蝕刻工作站作業
2.本設備僅接受委託服務代工作業，不開放一般使用者自行操作。
3.本設備僅提供廠務端化學品中央供應系統供應之化學藥品，分別為：硫酸（H2SO4 96％）、鹽酸 HCl 31％ 、氨水（NH4OH29％）、雙氧水（N2O2 36％）、氫氟酸（HF 49％）；其餘化學品均不提供。
4.清洗區、光阻區，所屬之真空吸筆、晶舟、晶圓乾燥旋乾機，因潔淨度等級不同，不得交叉使用。
5.機台端備有本區所使用化學品之物質安全資料表 MSDS ，每一化學品之相關資料均可由此取得。若對所使用之化學品有任何疑慮時，請聯絡設備負責工程師。
6.不鏽鋼工作桌下方置物盒內備有石蕊試紙，供操作檯面沾附不明液體測試時使用，判讀方法可參照該試紙包裝外殼。
7. 在作業過程中發生化學品危害時，請就近使用急救藥品及設施，該急救設施及藥品置於設備 SPM#2 槽前方維修走道之警急沖淋器內；在10級之離子佈值機（E500）後方、5樓化學實驗室內，均備有相同之急救藥品即設施，2樓醫務室亦備有較大容量之藥品。
8.急救設施之使用方法如下： 設備端有相關使用標示）
沖身洗眼器：
在水中脫去無塵衣物及相關配件，用力拉下拉，環花灑水頭即會出水。將臉部靠進附屬面盆，其出水龍頭即可供洗眼部，另配有噴槍，供局部小面積危害使用。
9.急救藥品使用置放處、分類、使用方法如下：
1 急救藥品置放於本設備後方緊急沖淋器內部。
2 急救藥品使用分類：
a.六氟靈：供含氟酸類的藥品沾附急救用 如：HF、B.O.E.7:1等溶液）
b.敵腐靈：供一般酸、鹼沾附急救用（如：H2SO4、HCl、NH4OH等溶液）
c.葡萄酸鈣軟膏:供含氟酸類的藥品沾附身體部位急救用，但切勿塗抹於眼部，以免導致眼睛鈣化而致失明。
3 急救藥品使用方法：
1. 敵腐靈點滴瓶包裝：
當沾附到化學藥品的 1 分鐘內，是最佳的使用時機。使用時不需先沖水，在除去配件後，直接把瓶蓋轉開，將瓶身倒立以眼杯直接罩住患處並按壓瓶身，即可將藥品引流至患處，當全部藥瓶使用完畢後，再以生理食鹽水沖洗患處。
2. 敵腐靈噴罐包裝：
當沾附到化學藥品的 1 分鐘內，是最佳的使用時機。使用時不需先沖水，在除去配件後，直接打開瓶蓋再按壓，直接對患處噴灑即可將藥品噴灑至患處。當整罐噴劑使用完畢後，再以生理食鹽水沖洗患處。
3.六氟靈點滴瓶包裝：
當沾附到化學藥品的 1 分鐘內，是最佳的使用時機。使用時不需先沖水，在除去配件後，直接把瓶蓋轉開，將瓶身倒立以眼杯直接罩住患處並按壓瓶身，即可將藥品引流至患處，當全部藥瓶使用完畢後，再以生理食鹽水沖洗患處。
4.葡萄糖酸鈣軟膏
先將患處沖水 30分鐘，再塗抹葡萄糖酸鈣軟膏，同時加以按摩 15
分鐘，若症狀未改善即應迅速就醫。
10.如遇緊急狀況時，應立即按下機檯操作面版上之緊急按鈕 EMO 此時機台會立即斷電。當遇機台異常時，請通知設備工程師。
文档评论（0）