方法7电子光学基础重点分析.ppt

现代材料分析方法电子光学基础 河北工业大学 材料学院 孙继兵 E-mail: hbgdsjb@yahoo.cn Tel:022-2658 2288 第一节　电子波 一、光学显微镜的局限性 一个世纪以来，人们一直用光学显微镜来揭示金属材料的显微组织，借以弄清楚组织、成分、性能的内在联系。但光学显微镜的分辨本领有限，对诸如合金中的G.P 区（几十埃）无能为力。 分辨本领是指成像物体（试样）上能分辨出来的两个物点间的最小距离。 光学显微镜的分辨本领为 Dr0≈l/2, 式中， l 为照明光源的波长。 可见光的波长范围为3900~7000?，光学显微镜分辨本领的极限为2000 ? 。因此，要提高显微镜的分辨本领，关键是要有波长短，又能聚焦成像的照明光源。 二、电子波的波长 比可见光波长更短的有： 1）紫外线 —— 会被物体强烈的吸收； 2）X 射线 —— 无法使其会聚 ； 3）电子波 根据德布罗意(De Brolie)物质波的假设，即电子具有微粒性，也具有波动性。电子波的动量 静电透镜 一对电位不等的圆筒就可构成一个最简单的静电透镜。 如果一个圆筒的电位比另一个圆筒低，弧形的电力线方向由高指问低方。如果我们在垂直于电力线的方向画出等位面，其形状就和凸透镜十分相似。平行的电子束从低内高照射时，就会在简轴线的某一点上聚焦。 如果发射电子的阴极位于静电透镜的电场之内，那么这种静电透镜被称为浸没透镜。在电子显微镜中，发射电子束的电子枪就属于这一类静电透镜。 第二节　电磁透镜 电子在磁场中的运动 电子沿垂直于磁场方向入射，电子在一个平面内作圆周运动。 设电子运动速度为v，磁通密度B，电子电荷e，质量m，则作用在电子上的力为 F=evB，在数值上等于使电子作半径为r的圆周运动的向心力mv2/r，即：evB = mv2/r，得到： 电子相对于磁场方向成任意角度入射 电子相对于磁场方向成任意角度入射时，电子的运动可以看成是沿磁场方向的匀速直线运动和垂直方向的圆周运动的合成，最终轨迹表现为螺旋线。 电子以速度v和磁场B成a角入射，则v可以分解成沿B方向的分量vx和垂直于B方向的分量vy。 电子一方面以vx匀速直线前进，另一方面以vy作圆周运动，这样运动的合成形成以PP为轴的螺旋轨迹。 圆形轨迹半径 在电镜中通常利用近轴电子束成像，所以a很小，而vx=vcosa≈v。 同时从P点出发但夹角a不同的电子束，由于vx≈v近似相等，因此不同的电子束将同时到达P点，这就是均匀磁场能使运动的电子束垂直聚集成像的基础。 一、通电的短线圈-简单的电磁透镜,产生轴对称不均匀的磁场 圆锥螺旋线近轴运动 电磁透镜与光学透镜聚焦原理对比 二、带软铁壳的电磁透镜使电子会聚的原理 三、带铁壳的带极靴的透镜 磁透镜结构剖面图 三种磁透镜的磁感应强度对比 聚焦结论 我们有下面的结论： 1）所有从同一点出发的不同方向的电子，经透镜作用后，交于像平面同一点，构成相应的像。 2）从不同物点出发的同方向同相位的电子，经透镜作用后，会聚于焦平面上一点，构成与试样相对应的散射花样。 3）穿过透射光心的电子波直线传播。 4）有极靴的电磁透镜可以获得轴对称均匀的磁场。 与光学透镜的异同 与光学玻璃透镜相似，电磁透镜物距、像距和焦距三者之间关系式及放大倍数为 1） 球 差 球差是由于电子透镜的中心区域和边沿区域对电子的会聚能力不同而造成的。远轴的电子通过透镜是折射得比近轴电子要厉害的多，以致两者不交在一点上，结果在像平面成了一个散焦圆斑，半径为 2）像散 像散是由透镜磁场的非旋转对称而引起的。 极靴内孔不圆、上下极靴的轴线错位、制作极靴的材料材质不均匀以及极靴孔周围局部污染等原因，都会使电磁透镜的磁场产生椭圆度。 透镜磁场的这种非旋转性对称，会使它在不同方向上的聚焦能力出现差别。有的方向电子束的折射比别的方向强。 这样，圆形物点的象就变成了椭圆形的漫散圆斑，其平均半径为 3）色差 引起电子束能量变化的主要有两个原因：一是电子的加速电压不稳定；二是电子束照射到试样时，和试样相互作用，一部分电子发生非弹性散射，致使电子的能量发生变化。 使用薄试样和小孔径光阑将散射角大的非弹性散射电子挡掉，将有助于减小色散。 4）电磁透镜的衍射效应 由于光的衍射，使得由物平面内的点O1 、 O2 在象平面形成一B1 、 B2圆斑（Airy斑）。若O1 、 O2靠的太近，过分重叠，图象就模糊不清。 当两个光斑强度峰间的强度谷值比强度峰值低19％时（把强度峰的高度看作l00％），这个强度反差对人眼来说是刚有所感觉。像平面上B1和B2之间的距离正好等于Airy斑的半径R0，折算回到物平面上S1点和S2的位置上去时，就能形成两个以Dr0为半径的小圆斑。两个圆斑之间的距离与它们的半径