无尘室管理规范V01概要.ppt

无尘室管理规范 Contents 无尘室的纪律 设备进出无尘室管理 无尘衣鞋及日常用品管理 进出无尘室的管制与方法 无尘室基本介绍 文件档案管理 无尘室物料管理 厂商进出无尘室注意事项 标示管理 无尘室安全注意事项 化学药品管理 无尘室基本介绍 1.无尘室又称洁净室（Clean Room） 无尘室是一个为了对室内空气中的微粒数进行控制所建的特殊封闭式建筑并具备下列特性的密闭作业空间： a.空气中微粒数小于一定数目 b.能防止外界微尘粒子进入 c.能迅速排出室内所产生之微尘粒子和有害气体到室外 d.维持温度、湿度及室压于一定标准 e.能防止静电、电磁等有害制程的干扰 f.安全及节能的考量 2.无尘室管理的目的 有效管理无尘室生产设备、工具、人员的进出、无尘衣鞋等，确保无尘室的高效洁净度、设备的正常运转及制程的稳定。 无尘室基本介绍 测量地点 微尘粒子数(PC/ft3) ≥0.5μm 大气层圈 ≤100 田园地区(微风) 10万~30万 住宅地区 10万~20万 办公室(工作中) 20万~40万 施工厂区 40万~100万 正在吸烟的会议室 60万~100万 各种条件下微尘状况 无尘室基本介绍 美国联邦标准（< USA Federal Standard ）209E （1992 年）PC/ft3 洁净度级别 粒 径 (um) 0.1 0.2 0.3 0.5 5.0 1 35 7.5 3 1 NA 10 350 75 30 10 NA 100 NA 750 300 100 NA 1000 NA NA NA 1000 7 10000 NA NA NA 10000 70 100000 NA NA NA 100000 700 无尘车间标准-等级 无尘室基本介绍 无尘室洁净度之维持和控制，除了前期硬件设备投资外也需要良好的软件——管理制度来搭配，方能维持良好的洁净度。由上图测试结果来看，作业人员对无尘室内洁净度影响最大，作业人员进度无尘室时尘埃有显著增加，有人员来回走动等动作时洁净度马上劣化，可见洁净度劣化的主要原因为人为因素 污染源说明 无尘室基本介绍 微尘的危害及防止 就玻璃基板而言，微尘粒子之附着将造成玻璃基板的划伤，短路和贴附气泡等制程品质不良，而造成报废。因此对污染源的控制已成为无尘室管理的重要环节。 1.外部尘埃侵入之防止 无尘室适当正压保持（>0.5mmHg）,做好前期施工工程保证不漏气，人员、设备、原材料、治工具、耗材等携入无尘室之前必须做好清洁擦拭等防尘动作。同时清洁工具需妥善放置及定时更换或清洁。 2.无尘室内发生及防止 隔间板、地板等无尘室材料的适当选用，制程设备的发生控制即定期保养清洁，生产人员人在其位不得随意走动或较大肢体动作，特殊站点采取增加粘尘垫等预防措施。 3.室内发生之不积累 组织生产人员定期清洁无尘室内的各个角落，遵循从上到下、从外到内的清洁方法。 4.无尘等级极度劣化之处理 暂停所有生产，将设备、治工具等清洁后打包密封，检查厂务设备、过滤网等，采取泄压方式处理。 进出无尘室的管制与方法 1.一般人员 a.经过专门培训并考核通过 b.需严格遵循《无尘室管理规范》的要求 c.身体健康无传染病 d.服从现场主管的管理 e.随身携带物品需遵循无尘室物品管制的要求 2.厂商 a.经过专门培训并由公司负责人签字确认 b.由公司接待人员负责开立《施工厂商无尘室进入申请单》，经主管签字 c.由公司接待人员随同进入 d.携带物品由公司接待人员负责开立《物品携入、携出申请单》，经主管签字 3.来宾 a.由公司接待人员负责开立《来宾无尘室进入申请单》，经主管签字 b.由公司接待人员陪同沿参观路线参观 进出无尘室的管制与方法 人员穿着无尘衣/鞋步骤说明(进无尘室) 洗手并烘干 戴口罩 戴网帽 穿无尘衣 穿无尘鞋 戴手套 洗手并烘干 粘尘滚轮清洁无尘衣鞋 踏上粘尘垫 进入风淋室 举双手转三圈 听到提示音后开门进入无尘室 进入门禁室 进出无尘室的管制与方法 人员脱无尘衣/鞋步骤说明(出无尘室) 确认无人员进入并关门后开前侧门出 脱手套 洗手并烘干 脱无尘鞋 脱无尘衣 脱网帽 脱口罩 离开门禁室 进入缓冲室 进出无尘室的管制与方法 进出风淋室注意事项 a.穿好无尘衣鞋后，必须先用粘尘滚轮清洁再进入风淋室，然后进入无尘室 b.排队进入风淋室，每次进入人数不得超过限定人数 c.人员在风淋室应双手举起转三圈，不得用手堵住出风口、不得靠墙、更不得打闹拥挤 d.洗净完毕后，听到提示音再开门依次走出 e.出风淋室后进入无尘室，不得大声喧哗，非紧急情况不能跑步 进出无尘室的管制与方法 禁止进出无尘室人员及物品 进入人员 a.未按规定穿着无尘衣鞋者 b.化艳妆、留长指甲、留长胡须者 c.抽烟后不超过半小时者 d.未经培训并考核通过者 e.由于违反纪