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微纳加工技术实验指导书 董连和　　　孙艳军 　　 长春理工大学光电工程学院 二○○八年十月 目　　　录 实验一　刻划刀具制作与研磨………………………………………1 实验二　分划板刻制与检验…………………………………………4 实验三　圆光栅紫外光刻……………………………………………8 实验四　光学度盘检验………………………………………………11 实验五　圆光栅照相复制……………………………………………13 实验六　衍射光栅刻划………………………………………………16 实验七　光学标准尺刻划……………………………………………18 实验八　八台阶二元光学元件微细光刻……………………………20 实验一　刻划刀具制作与研磨 一．实验目的 刻划刀具材料,形状和研磨的质量是决定刻划刀性能的基本因素。通过实际操作，了解刻划刀具的种类、材料、几何参数及用途，掌握专用工装的设计及刀具研磨的技巧。 二.实验原理 以靠模作为依托，刀坯一端与磨具相对运动产生机械磨削，实现所需要的形状和结构尺寸。 三．实验工具及材料： 15J读数显微镜（100X） 一台 XTT实体显微镜（60X） 一台 粗磨油石　（180目）　　 一块 精磨油石（W20）