现代材料分析方法(6AES).ppt

Auger电子能谱(AES)Auger Electron spectroscopy AES ? Auger效应 1925年Pierre Auger在Welson云室内观察到Auger电子径迹，并正确地解释了这种电子的来源。 尽管当时人们已经认识到它可以成为一种成分分析的手段，但直到六十年代中期，随着金属的超高真空系统和高效的微弱信号电子检测系统的发展，才出现了可以用于表面分析的实用Auger电子能谱仪。 AES ? Auger效应 随着科学技术的不断发展，使Auger电子能谱仪的性能不断改进，并出现了扫描Auger电子显微术(SAM), 成为微区分析的有力工具。 电子计算机的引入，使Auger电子能谱仪的功能更趋完善。目前， Auger电子能谱已成为许多科学领域和工业应用中的最重要的表面分析手段之一。 AES ? Auger效应 Auger过程 AES ? Auger效应 Auger过程 原子在X射线、载能电子、离子或中性粒子的照射下，内层电子可能获得足够的能量而电离，并留下空穴。此时原子处于不稳定的激发态。 辐射跃迁(X射线) 退激发 俄歇跃迁 (俄歇电子) AES ? Auger效应 在实用的Auger电子能谱仪中，初态空位的产生是通过具有一定能量的电子束轰击样品表面而实现的。 用于表面分析的Auger电子的能量一般在0--2000eV之间。 AES ? Auger效应 Auger电子的发射牵涉到三个电子的能级： 空位、 跃迁电子、发射电子所在的能级。 如初态空位在K能级，L1能级上的一个电子向下跃迁填充K空位，同时激发L3上的 一个电子发射出去便记为KL1L3。 一般地说，任意一种Auger过 程均可用WiXpYq来表示。Wi,Xp 和Yq代表所对应的电子轨道。 俄歇电子发射过程示意图 KLL系列 KL1L1……………2s0p6 (1S) KL1L2,3…………2s1p5(1P, 3P) KL2,3L2,3……2s22p4(1D, 3P, 1S) AES ? Auger效应 Auger电子能谱手册中给出了各种原子不同系列的Auger峰位置。 每种元素的各种Auger电子的能量是识别该元素的重要依据。 AES ? Auger电子的能量和产额 Auger电子几率 电子能谱 AES ?? Auger电子能谱的测量 微分谱 电子逃逸深度 平均自由程和平均逸出深度 平均自由程和平均逸出深度是两个类似的概念。 平均自由程是指在理论上，电子经受非弹性散射的平均距离。 平均逸出深度指的是在实际测量中，电子经受非弹性散射的平均深度：具有确定能量Ec的电子能够通过而不损失能量的最大距离。 逃逸深度λ与入射粒子无关，是出射电子能量的函数。 电子逃逸深度 电子逃逸深度 电子逃逸深度 AES ?AES装置 从1967年L.A.Harris采用微分方法和锁定放大技术，建立第一台实用的Auger电子谱仪以来，Auger电子谱仪无论是在结构配置上，还是在性能上都有了长足的改进。 Auger电子谱仪目前主要由Auger电子激发系统??电子枪，Auger电子能量分析系统??电子能量分析器，超高真空系统，数据采集和记录系统及样品清洗、剖离系统组成。 AES ?AES装置 电子枪: 电子枪是用于激发Auger电子的装置。Auger电子的能量一般在0～2000eV之间，所以电子枪的加速电压一般在5 keV以上。 为了能采集Auger电子像，扫描Auger电子谱仪(SAM)的电子枪加速电压一般为10～15 keV。 电子枪的电子束斑直径，决定着SAM的空间分辨率。目前，商品仪器中，最小的电子束斑直径为15 nm，最大加速电压为20 keV。 电子能量分析器 AES ?AES装置 电子能量分析器 AES ?AES装置 电子能量分析器 真空系统 AES ?AES装置 数据的采集和记录 目前，Auger电子谱仪的数据采集一般是以脉冲计数的形式，通过计算机采集不同能量下的Auger电子数的。用固定的数据分析处理远件进行分析、处理，并把结果输出到打印机和笔绘仪上。 AES ?AES装置 离子枪和预处理室 离子枪是进行样品表面剖离的装置，主要用于样品的清洗和样品表层成分的深度剖层分析。一般用Ar作为剖离离子，能量在1~5 keV。 样品的预处理室是对样品表面进行预处理的单元。在预处理室内一般可完成清洗、断裂、镀膜、退火等一系列预处理工作，一般视