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蔡司场发射扫描电镜操作培训安全规则设备的电源一定要确保持续和稳定。当设备出现短路，起火等重大紧急故障时，切断设备电源和UPS电源。电源开关见下图红圈当样品台移动的时候，一定要在TV模式下，确保其不会碰撞到探头。（尤其是在样品台上升的过程中）要求WD8mm平时观测时，注意不要碰到左边的操纵杆，以免样品高度和倾斜度发生变化，损坏镜头和探测器！开关仓门时必须轻拉轻推，避免撞击，震动极易损坏探测器。安全规则样品一定要粘牢在样品台上，样品高度应基本一致，样品表面平整，样品大小不得超出大样品台边缘（3英寸硅片一次只能放入一片），高度不得超过30mm,重量不得超过500g。不允许放入：液体、有机、生物、不耐热、熔融蒸发、松动粉末或碎屑等有挥发物样品！（电镜镜筒最怕污染，无VP模式）凡是不导电样品必须镀导电膜。样品台一定要卡紧在样品室基座上，左右不得晃动！样品台背面：卡槽样品台的安装：请注意图片上箭头方向样品观测结束后，一律将高压关掉（EHT OFF），否则会影响灯丝寿命。如需要回收样品，则取出样品后必须抽真空，否则会增加抽真空的时间和难度。关上氮气瓶阀门。把重新设定的参数改回。数据刻录一定要用实验室提供的光盘专门在此机器上刻录，禁止使用在其它机器上刻录过的光盘，禁止使用U盘和移动硬盘。 设备的电源一定要保持持续和稳定，无需开关硬件电源，每次实验后只需关闭电脑显示器电源。注 意 事 项制样过程中，手不能直接接触小样品架及样品台，防止手上的油脂等杂质污染真空系统，要戴手套。需要倾斜样品时，需经电镜管理老师同意，不得自行倾斜样品！放置电镜的台子不能放置其它物体，不能将身体靠在台子上！电镜室温度范围：21?4?C；湿度?65％。使用者不得更改计算机内之任何设定或私自加载任何软件，不得将样品台、小样品架等电镜室内的物品携出SEM实验室。样品台须放在干净的培养皿中操作，不能直接放在桌子上或其它不洁净物体上面。用完后，样品台放入培养皿中盖好。测试时须换鞋，不得携带任何食物入内，测试完后打扫卫生，保持扫描电镜室干净整洁。测试完后必须进行登记！电镜室隔间隔间放有高纯氮气钢瓶、水循环机、UPS电源、干泵、空气压缩机。由于隔间内无空调，水循环机给机器降温散热量很大，所以隔间门要打开，不得关闭，尤其在夏天，否则水循环机负荷太大会损坏。开关机操作说明FESEM 主机的开机首先将水冷机打开。确认控制面板上的3个灯亮（红圈中）。右侧的水机温度下降到左侧的设定温度。检查水机后面的压力表的读数。如果有压缩空气机的话，打开压缩空气机。确保输出压力达到6 bar。注意：本机长时间开机，一般操作人员只需在Standby按钮亮起时，按下旁边ON按钮，绿灯长亮后即可进行下一步操作。FESEM 主机的关机按下黄色的Standby按钮（设备除真空和MPSU电路板外的所有电路板关闭电源）。等待30秒后。按下红色的Off按钮。设备的所有电路板关闭。15分钟后关闭水冷机和压缩空气机。注意事项：开机以前，一定要提前把空调打开。让房间里的温度控制到指定要求。并很稳1－2小时。当空调停机的时候，应立即关闭主机和水机！！注意：关机由管理员进行，一般测试人员不需要进行此项操作，只需按下进行EHT off，关闭软件，按下Standby按钮。操作软件简介说明Smart软件的启动双击桌面上的快捷键 或者在开始菜单中选择START PROGRAMS?? SMARTSEM ?? SMARTSEM USER INTERFACE 软件启动后，自动对设备的硬件进行检测。当设备出现硬件问题时，软件将自动出现提示自检完毕后，在EM server log on 对话框中输入用户名和密码，进入SmartSem软件。system无密码软件简介：SEM Control 面板（启动快捷键Ctrl＋g)操作软件简介SEM Control: Gun 界面点击此处，可以选择灯丝的开关和高压的开关严禁擅自更改Fil I和Extractor V处的数值。如需更改，请先取得服务工程师的同意。双击或者拉动滑块可以改变不同的EHTSEM control: Detector 面板选择SE2 探头收集极电压值选择不同的探头选择两种不同探头的信号进行混合混合信号时，两个探头的信号比例调节图像的亮度调节图像对比度SEM Control: Aperture 面板选择不同的尺寸的光阑激活此处，可进行光阑对中观察六孔光阑的位置和形状光阑对中灯丝对中像散校准电子束移动高电流模式SEM Control: Scan 面板选择图像存储的分辨率扫描速度图像噪音去除的六种方式选择：帧平均，帧积分，线平均，线积分，像素平均，连续平均。图像的冻结是以手动形式还是扫完整幅图片后积分次数或者是平均次数SEM Control：Stage界面双击数据区，输入你想要去的位置