精密主轴部件.pptVIP

一、精密主轴部件 1、液体静压轴承主轴 2、空气静压轴承主轴 3、超精密机床主轴和轴承的材料 4、主轴的驱动方式 二、床身和导轨 1、滚动导轨 2、液体静压导轨 3、气浮导轨和空气静压导轨 三、进给驱动系统 1、精密数控系统 2、滚珠丝杆副驱动 3、滚珠丝杠传动副的联接 4、摩擦驱动 5、直线电机驱动 四、微量进给装置 1、电致伸缩传感器 2、电致伸缩传感器微量进给装置的结构 3、电致伸缩式微量进给装置的驱动电源 * 超精密机床的质量，取决于关键部件的质量。 精密主轴部件是超精密机床保证加工精度的核心。 主轴要求达到极高的回转精度，转动平稳，无振动，其关键在于所用的精密轴承。 液体静压轴承常用的油压为0.6－1MPa。 液体静压推力轴承，一般由两个相对的止推面做在轴的同一端。 液体静压轴承可达到较高的刚度。 但有下列缺点不易解决： 1)液体静压轴承的油温升高。在不同转速时温度升高值不等，因此要控制恒温较难。温度升高将造成热变形，影响主轴精度。 2)静压油回油时将空气带人油源，形成微小气泡悬浮在油中，不易排出，因此将降低液体静压轴承的刚度和动特性。 为解决前面提到的两个难题，该机床采用如下措施： 1)提高静压油的压力到6-8MPa,使油中微小气泡的影响减小，提高了静压轴承的刚度和动特性。 2）静压轴承用油经温度控制，基本达到恒温，减少轴承的温升。 3)轴承用恒温水冷却，减小轴承的温升。 空气静压轴承有很高的回转精度，在高速转动时温升甚小，因此造成的热变形误差很小，空气轴承的应用促进了超精密机床的发展。空气轴承的主要问题是刚度低，只能承受较小的载荷。 ①圆柱径向轴承和端面止推空气静压轴承 ②双半球空气轴承主轴 ③前部用球形，后部用圆柱径向空气轴承的主轴 ④立式空气轴承 ⑤大平面铣床的主轴轴承 超精密大平面铣床，主要提高加工平面的精度。这种机床主轴要求极小的端面跳动和较大的角刚度。 第一方案是采用大直径的推力轴承，而较短的轴向长度； 第二方案是加大主轴两个径向轴承间的距离（即主轴采用较大长度），而采用直径较小的推力轴承。 ①不易磨损。 空气轴承主轴正常工作时虽不会产生磨损，但偶然不通气时会发生接触转动，要求主轴和轴套不咬住或磨损。 ②不易生锈腐蚀。 空气轴承工作时无润滑剂，虽工作时通入的压缩空气是干燥的，不致生锈腐蚀，但在轴承不工作时，潮湿空气会进入轴承内，因此要求轴承材料不易生锈腐蚀。 ③材料要稳定并且线膨胀系数小。 空气轴承工作时虽温升不大，仅1°-3℃，但仍将空气轴承气隙改变，主轴产生热变形，影响主轴的性能和回转精度，故应采用线膨胀系数小的材料，主轴和轴套应用线膨胀系数接近的材料，并且可采用恒温油浇淋降温。 现在实际制造空气主轴和轴套材料的有： 1)轴和轴套都用38CrMoA1氮化钢，经表面氮化和低温稳定处理； 2)不锈钢； 3)多孔石墨和轴承钢。 此外文献中还报导试用下列材料制造空气主轴的轴和轴套：l）铟钢，2)花岗岩，3)线膨胀系数接近于零的微晶玻璃，4）陶瓷。 ①电机通过带传动驱动机床主轴 采用直流电机或交流变频电动机，可以无级调速，不用齿轮调速以减少振动。 电机要经过精密动平衡并用单独地基以免振动影响机床。 传动带用柔软的无接缝的丝质材料制成。带轮由自己的轴承支撑，经过精密动平衡，通过柔性联轴器（常用电磁联轴器）和机床主轴相联。 采用上述措施主要是使主轴尽可能和振动隔离。 ②电机通过柔性联轴器驱动机床主轴 电机和机床主轴在同一轴线上，通过电磁联轴器或其他柔性连轴器和超精密机床的主轴相联，这时机床的主轴部件要比通过传动带驱动紧凑得多，这种驱动方式现在在超精密机床中用得较多。 采用这种主轴驱动方式时，主轴部件的轴向长度较长，使整个机床的尺寸加大。 ③采用内装式同轴电动机驱动机床主轴 电机转子直接装在机床主轴上，定子装在主轴箱内，电机自己没有轴承，而是依靠机床的高精度空气轴承支承转子的转动。采用无刷直流电动机，可以很方便地进行主轴转速的无级变速，同时电机没有电刷，不仅可以消除电刷引起的摩擦振动。 电机和机床主轴同轴，不仅可提高主轴的回转精度，而且主轴箱的轴向长度缩短，主轴箱成为一个独立的、很方便移动的部件。 现在一般的直流电动机都是方波驱动，这时的驱动转矩变化大致在10%-8%。这将使主轴的瞬时转速有波动，主轴转速低时，转速波动更明显。在要求主轴转动更平稳时，直流电动机可以采用正弦波驱