04 无机料 第二章 合成-气相固相.pptVIP

化学气相沉积-薄膜制备 非晶态 多晶 单晶 举例：铌酸锂（LiNbO3） 锂的β-二酮化合物 +铌的烷氧化物（Nb2(OEt)10）作为起始反应物，在含O2的Ar气流中分别将Li和Nb的化合物加热到520K、470K，然后一起通过一个加热到720K的反应管，得到LiNbO3固体。 原子层沉积 Atomic Layer Deposition (ALD) 1974 by Dr. Tuomo Suntola and co-workers in Finland 将合成分成两个“半反应” 两种前驱物分段进入反应腔 半反应具有自限性 Page * 憎馁喜难墙内缺包瑟装雁谩响欢惜霹叮悠喜妆锑柞庸辰东簿脆食列旋踊绦04 无机材料 第二章 合成-气相固相04 无机材料 第二章 合成-气相固相 ALD- Al2O3 Page * 巫霖悔匪搓掳逃匆厅侧岸邢锯趾峻簧窒方行痹咱防感悯炕瑚袱囊晰棺树箔04 无机材料 第二章 合成-气相固相04 无机材料 第二章 合成-气相固相 ALD 优点 组成精确 大面积均匀 厚度精确可控 低温，条件温和，基底无特殊要求 缺点 沉积速度慢 适用范围小 Page * 盲傅巾檀昭文蓖获甫萤棠各综膨核誉痞驯己谱僻肘滑眉誓矩秉阔鸦贯吼障04 无机材料 第二章 合成-气相固相04 无机材料 第二章 合成-气相固相 MOCVD： GaN (3.4 eV) Ga(CH3)3? +? NH3 →GaN Page * Japan (Shuji Nakamura, now at UCSB) developed the 1st green, blue, violet white LEDs with GaN semiconductors (epitaxial MOCVD on a sapphire substrate -1993)， the 1st blue-light semiconductor laser (1995) ￥￥￥$$$ Blue, green and white LED technology has continued its large-scale commercial growth resulting in revenues exceeding $3 billion in 2004. White LEDs are responsible for over 50% of the total GaN related LED market. Sales for Blue laser diodes LEDs are expected to reach $4.7 billion by 2007. Industry experts estimate the market for blue lasers in the next generation of DVD and CD players alone will exceed $1 billion. 辱妖色霹慕呸佬沈贩隔辰种慑舰彬煎滴逞恍收讶虫凌叹擅模搔靠懈锦我暂04 无机材料 第二章 合成-气相固相04 无机材料 第二章 合成-气相固相 Shuji Nakamura 1954 年出生于日本爱媛县濑户町，1977 年德岛大学工学院电子工程学士毕业，1979 年德岛大学电子工程硕士学位毕业，同年进入日亚化学(Nichia) 1988 年日亚化学资助中村进入美国佛罗里达州立大学... 1990年，Nakamura先对GaN生长工艺MOCVD做了改进，提出了双流送气法； 1992年，他用改进的MOCVD去生长p型GaN，通过热退火工艺，消除了氢钝化的影响； 1992年，他成功生长出了高质量InGaN单晶层； 1993年，Nakamura制作出了世界上第一个蓝光GaN的LED； 1995年，为提高发光效率，他基于多量子阱结构，制作了世界上第一个脉冲式的InGaN?LED； 1995年，没过多久，他又制作出了世界上第一个连续光发射的InGaN?LED； 1996年，Nakamura又率先制作了高亮度的白光和绿光LED。 Nichia（日亚化学）前身是生产荧光灯、显示器所用的荧光粉，年收入仅20亿日元（约2000万美元），不到200人的小公司。从1994～2010，日亚获得大约１兆 2,086 亿日元 ( 约合109.87 亿美元 )的销售收入 。另外，其它公司从日亚公司获得专利使用许可之后，销售额至少达到日亚的一半，日亚公司能从中得到 20% 的专利使用许可费计 1,208 亿日圆 ( 约合10.98 亿美元 )日亚化学仅仅支付给Shuji Nakamura 2万日元的奖励，中村还被调离研发一线，被同行成为“中村奴隶”。   Page