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（包二）项目设备采购清单及技术指标等 序号 设备名称 产地 设备 技术指标 数量 单位 金额 （万元） 分包 情况 射频溅射电源 国外知名品牌 见附件 1 台 包2 附件：采购技术指标和相关说明 技术部分要求： 1、射频电源 仪器配置： 进口射频溅射电源1套；电源连线3根；产品使用手册1本。 技术参数： 电源输出频率：13.56 MHz +/- 0.005 % 电源最大输出功率(W): 1200W, 50 Ohm负载 电源最小输出功率(W): 12W, 50 Ohm负载 电源反射功率极限 (W): 小于200W 电源冷却方式：风冷 数字通讯方式：RS-232 电源输入电力要求：单相，230V±10% 自动匹配器最大功率：3KW 自动匹配器冷却方式：风冷 自动匹配器控制和显示方式：自动匹配器的控制和显示部分集成于射频电源，不需要单独的匹配器控制显示器，以便操作方便和节省电控柜空间 电源连线： 宽度：≤4mm （包三）项目设备采购清单及技术指标等 序号 设备名称 产地 设备 技术指标 数量 单位 金额 （万元） 分包 情况 微器件加工平台 国内知名品牌 见附件 1 套 包3 技术部分要求： 1、微器件加工平台 仪器配置： 基座及照明系统 1套 基座采用铸铁结构各主要支撑体采用铸铝