01第一讲解读.ppt

Example of simulation flow Mesh *msh.bnd - boundary file *msh.cmd -command file Inspect Sentaurus Device *msh.grd – grid file (structure of mesh) *msh.dat – doping file (doping at each point) *des.cmd – command file *des.plt – current file Tecplot *des.dat – plot files Image files (E-field etc.) Graphs (images or exported data) Strip detector simulation Files available in SENTAURUS/Seminar/Introduction 集成界面 集成工艺仿真系统 Sentaurus Process 淀积（Deposition） 离子注入（Implant） 刻蚀（Etching） 扩散（Diffusion） 掩膜（Mask） 器件结构编辑工具Sentaurus Structure Editor 器件仿真工具Sentaurus Device Sentaurus Device是新一代的器件物理特性仿真工具， 内