电子显微分析-材料学院-深圳大学.docVIP

深圳大学课程教学大纲 课程编号课程名称:电子显微分析 开课院系: 材料学院 制订(修订)人:黎晓华 审核人: 批准人： 2007年 7月 12日制订 课程名称:电子显微分析 英文名称: Analysis of Materials Microstucture 总 学 时: 36 学时 其中:实验课0学时 学 分: 2学分 先修课程: 材料科学基础、材料工艺学、材料力学性能 教 材: 陈世朴 电子显微分析 上海交通大学出版社，上海 参考教材: 张铭诚等编著 电子束扫描成像及微区分析 原子能出版社 周志朝编著浙江大学出版社 “电子显微分析”材料科学与工程专业的专业选修课。 教学目标: 通过本课程的学习，使学生了解材料科学研究通常关注的显微结构分析内容；掌握各种常见分析仪器的功能和基本原理；学会根据不同显微结构分析内容，准确选择、利用各种分析方法和手段，并得出正确的判断。培养学生分析、解决问题的能力。 课程简介: “电子显微分析”是材料科学中最为重要的研究方法之一。准确、快捷的分析结果为材料的制备工艺、材料性能微结构表征研究及其材料显微结构设计提供可靠的实验和理论依据。本课程主要介绍包括物显微结构形貌观察、物相种类确定及其定量分析、择优取向类型及其测定、微晶及纳米粉体尺寸测定、体材料及其微区成分分析和定量测定等；同时侧重介绍进行上述显微结构分析通常所采用的各种现代仪器的主要功能特性及其分析方法，其中包括电子探针(EPME)、波谱仪(WDS)、能谱仪(EDS)、扫描电子显微镜(SEM)、透射电子显微镜(TEM)、电子背散射衍射（EBSD）等。 教学内容： 1. 电子显微镜基础 1.l 电子光学基础 （1）光学显微镜原理及缺陷 （2）电子透镜原理 （3）电子透镜的特点 1.2 电子束与物质的相互作用 (1) 物质对入射电子的散射 (2) 弹性散射截面 (3) 非弹性散射的能量损失 (4) 背散射电子 (5) 二次电子 2. 透射电子显微分析 2.1透射电子显微镜的结构及制样 (1) 透射电镜的发展历史 (2) 透射电镜的结构 (3) 透射电镜的样品制备 2.2 透射电镜的微区物相分析 (1) 电子衍射原理 (2) 倒易点阵和干涉函数 (3) 相机常数、单晶及多晶电子衍射花样标定 2.3 透射电子像衬度原理 （1）质量衬度和衍射衬度 （2）电子衍射像的衬度理论 （3）几种晶体缺陷的衍衬像 3. SEM/EDS,WDS显微分析 3.1扫描电子显微镜及能谱分析 （1）SEM结构原理 （2）探测器 （3）二次电子显微像 （4）背散射电子像与吸收电子像 3.2 X线能谱分析 （1）X线能谱分析仪结构及工作原理 （2） 定性分析 （3）谱线处理 （4）定量分析 （5）实验注意及分析策略 （6）分析类型 4. 电子能量损失谱分析 4.l 物理过程 4.2 谱仪结构与数据处理系统 4.3 谱图解析 4.4 能量过滤的电子衍射图与电子显微像 5.电子通道花样 5.1电子通道花样的电子光学条件 5.2 选区通道花样 5.3 多晶的通道对比度 6 其它微束分析方法 6.l 其它电子显微分析（AUGER电子谱，光电子谱，电子探针） 6.2 离子束分析（场离子显微镜-原子探针，离子探针、FIB） 6.3 近场作用显微分析（STM，AFM(） 6.4 激光束分析 7.电子显微分析的应用 7.1金属学中的应用 7.2 材料学中的应用 7.3微电子行业应用 7.4失效分析中的应用 7.5法学鉴别中的应用 7.6生物学及医学中的应用 学时分配：（请填写下表） 章节 主要内容 各教学环节学时分配 备注 讲授 实验 讨论 习题 小计 1 电子显微分析基础 8 8 2 透射电子显微分析 12 12 3 SEM/EDS,WDS显微分析 6 6 4 电子能量损失谱分析 2 2 5 电子通道花样 2 2 6 其它微束分析方法 4 4 7 电子显微分析的应用 2 2 考试与成绩评定方式：本课程通过两方面进行考核；，0%；卷考试，0%。