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2007 2007 2007 2007 2007 2007 2007 2007 2007 因为两驱动音叉x方向上的振动线速度 的方向相反，所以音叉受到方向相反的哥氏力，从而激发驱动音叉以驱动频率沿y轴方向做相向和相背的线振动，振动幅值与驱动振动的幅值(驱动频率不变)和输入角速率成正比关系，通过悬梁的耦合作用，敏感音叉也在 轴方向上作相同方式的振动。根据石英晶体的正压电效应，敏感振动使敏感音叉的表面产生交变的电荷信号，敏感音叉上的敏感电极拾取该电荷信号，经过放大、解调等处理就可以确定输入的角速度了。 2007 理想情况下，若驱动信号为： 则敏感电信号为： 即可检测输入角速度： 2007 图3-52 双端音叉结构 2007 图3-56 BEI公司石英陀螺接口电路 2007 型号 QRS14 QRS11 哈工大样品 零位短期稳定性（o/s） 0.05 0.01 0.008 非线性%(F.S.) 0.05 0.05 0.035 输出噪声(o/s/Hz-1/2) 0.02 0.01 0.0024 刻度因子温度系数（ppm/℃） 600 300 315 零位温度漂移（o/s） 3 1.8 0.96 阈值/分辨力 0.004 0.004 0.008 静态电流（mA） 20 80 12 表3-3 石英陀螺参数对比表 2007 通常，微机械陀螺在大气环境下工作时，传感器结构的 Q值最大只能达到几百，在这种情况下，传感器结构对环境噪声中其它频率信号的衰减程度有限，这些信号也同样经过电路被一起放大，因此闭环驱动电路输出驱动信号的频率与陀螺驱动模态固有频率存在一定的偏差，频率抖动也较大。为了解决这个问题，人们通常将微机械陀螺传感器结构进行真空封装，以提高其 Q值。然而真空封装必然引起制造成本的提高，且容易受外界环境的影响。所以最佳的解决方法是能够通过驱动电路控制输出信号的频率特性。 2007 此外，基于自动增益控制原理的闭环驱动电路从环境噪声中提取有用信号，信号需要在电路与传感器结构构成的系统中反复多个来回才能达到稳定，因此系统的建立时间较长。 2007 微机械陀螺谐振时，驱动信号与驱动方向敏感电流的相位及频率都一致。在实际运用中，驱动信号容易通过寄生电容耦合到跨阻放大器的输入端，频率一致的信号叠加会引起相位移动，容易破坏闭环系统的相位起振条件，导致系统无法自激振荡。这种电路在实际应用时，要尽量减小驱动信号对跨阻放大器输入端的耦合，这就要求传感器系统的封装条件良好，尽量减小可能造成信号耦合的寄生电容。 2007 自激驱动电路用来检测驱动方向的运动，并将其反馈放大用来驱动微机械陀螺质量块在其谐振频率上做简谐运动。在上一章节中我们知道，自激驱动电路包括跨阻放大器，VGA（可变增益放大器），峰值检测电路，全差动放大电路，及用于扩大输出摆幅范围的输出级电路。 2007 跨阻放大器 跨阻放大器用来实现I-V 转换，将微机械陀螺驱动模态的检测电容上检测到的电流，并将其转化电压信号用于后续电路处理。在本设计中，跨阻放大器采用一个单级折叠式全差分运算放大器和电阻网络组成，如图3-17所示。 2007 图3-17 跨阻放大器电路原理图 2007 其中op1 是一个单级折叠式全差分运算放大器，M101~M104是工作于线性区的PMOS管，在这里把它们作为电阻使用，i+, i-是输入端，out+, out-是输出端。C3C4是用来滤除可能会有的高频信号。con1con2是控制电压，当选择con2高电平con1低电平时，M101,M103工作，M102,M104截止，当选择con1高电平con2低电平时，M102,M104工作，M101,M103截止，在带宽范围内，跨阻放大器的放大倍数近似等于所选择管子的等效电阻值。通过控制con1con2这两个控制电压的大小，我们可以选择跨阻放大器的放大倍数，实现了在跨阻放大器这一级的电路放大倍数的可调性。 2007 图3-18 全差分运放op1电路原理图 2007 其中Q3、Q14、Q15、Q16、Q22、Q23、R1、R5构成了输入共模反馈电路，它可以稳定输入共模电压。Q11、Q12、Q24、Q4、Q5、Q18、Q19、Q25、Q26构成了单级全差分折叠式运放。Q6、Q20、Q23、Q27、Q28构成偏置电路。 2007 可变增益放大器(VGA)的实现 对可变增益放大器(VGA)的要求是它的输入输出摆幅能满足系统电路的要求，其增益1~0.01可变。图3-19给出了一个VGA的实现原理图和其增益随控制电压变化的仿真结果。 2007 图3-19 可变增益放大器原理图(a)与仿真结果(b) 2007 峰值检测电路实现 峰值检测电路