甩干机c电路分析仿真和故障维修.docVIP

甩干机电路分析和故障维修 甩干机是半导体器件制造过程中常用设备。的控制电路可分为逻辑控制和电机调速两部分。逻辑控制电路由CD4000系列数字逻辑电路CD4001、CD4011、CD4066、CD4069……，以及可预置ICM7217加/减计数器等组成。电路如附图1。 电机调速电路由SCR 、运放CA3130、三极管、单极晶体管2N2647等组成。电路如附图2.。 整个供电是由变压器将110V变成两组14V，经过全波整流成17V直流电压，经7812、7805，提供两组+12V、+5V直流稳定电压，供整机使用。 逻辑控制电路部分 甩干机在工作过程中执行下面四个动作： 复位待机。机器通电后，机器初始化复位，等待接受运行指令。 喷淋清洗。机器接受到START指令，甩干桶按照设定的速度转动设定的时间，同时喷淋管喷出高纯水清洗硅片表面。 甩干。喷淋结束，甩干机进入甩干阶段，甩干桶按照设定的速度转动设定的时间，同时甩干机加热器加热高纯N2,并喷向硅片，去除硅片表面水分，达到甩干的结果。 甩干时间到，甩干桶停止供电。启动刹车动作。 停止。甩干桶完全停止转动，机器回到复位待机状态。 机器在运行过程中，如果遇到特殊情况，按动STOP按钮，机器马上停止转动，进入复位待机状态。 根据甩干机的功能要求，逻辑控制的主要器件是ICM7217、NE555、CD4017。 U1 ICM7217是四位可预置加/减计数