光电子能谱_近代仪器分析课件.pptVIP

X射线光电子能谱(XPS) 6、XPS分析 6.3.3 角分辨XPS X-ray e e e X射线光电子能谱(XPS) 6、XPS分析 6.4 特异峰 6.4.1 卫星峰（satellite peaks） X射线一般不是单一的特征X射线，而是还存在一些能量略高的小伴线，所以导致XPS中，除K?1,2所激发的主谱外，还有一些小峰。 X射线光电子能谱(XPS) 6、XPS分析 X射线光电子能谱(XPS) 6、XPS分析 6.4.2 鬼峰（ghost peaks） 由于X射源的阳极可能不纯或被污染，则产生的X射线不纯。因非阳极材料X射线所激发出的光电子谱线被称为“鬼峰”。 X射线光电子能谱(XPS) 6、XPS分析 6.4.3 能量损失峰 对于某些材料，光电子在离开样品表面的过程中，可能与表面的其它电子相互作用而损失一定的能量，而在XPS低动能侧出现一些伴峰，即能量损失峰。 X射线光电子能谱(XPS) 6、XPS分析 X射线光电子能谱(XPS) 6、XPS分析 6.5 定量分析 I＝ nfσψγAλ 式中：I— 峰强度 n — 每cm2的原子数 f — X射线通量（光子∕cm2·s） σ— 光电截面积（cm2） ψ — 与X射线和出射光电子的夹角有关因子 γ — 光电产额（光电子∕