揮發性有機物空氣污染管制及排放標準(102.1.3).DOCVIP

附件六-1 經濟部節約能源績優廠商表揚活動 節約能源或抑低二氧化碳排放措施及成效資料表 編號： 申請單位名稱 台灣積體電路製造股份有限公司 申請單位分支機構名稱 台積電十四廠 節約能源或抑低 二氧化碳排放主題 案例一、VOC瓦斯減量 實施日期 九十五年一月 節能 措 施 在VOC處理效率須符合法規的前提下，避免過度燃燒浪費能源，使VOC瓦斯耗量合理化，同時降低公司的運轉成本，達到節能的效益 設 計 理 念 或 改 善 方 案 FAB14 P1VOC 設計風量為50000CMH，共6SETS DESIGN DATA 脫附的風量為3855CMH 濃縮倍數為13倍 VOC燃燒的溫度730℃ 脫附的溫度200℃ 改善方案： 降低VOC脫附的風量 將3855CMH調整為3500CMH 增加脫附時VOC的濃度 將VOC ROTOR的轉速35HZ調整為30HZ 降低VOC燃燒的溫度 將VOC燃燒的溫度730℃調整為715℃ 約可節省262,800m3 /年之瓦斯量，節省運轉成本3,850仟元/年 節 能 成 效 經計算改善後每年共節省瓦斯量 262,800m3 /年 每年總節省金額：262,800m3 /年×14.65元/ m3＝3,850仟元/年， 約省下3,85