纳米测量光学实验..docx

中山大学光信息专业实验报告：纳米光学测量实验实验人：何杰勇 合作人：徐艺灵 组号B13 （2014年4月17日星期四）【实验目的】1.建立纳米精度测量的概念，了解其实现方法。2.掌握利用笔束激光干涉法进行纳米精度的位移和振动测量的方法。【实验仪器】实验用具：激光器、平面反射镜、棱镜反射镜、CMOS光电接受器、可调光阑、半反射镜、物镜、压电陶瓷及控制电源。【实验原理】1、位移的纳米测量方法纳米测量技术指尺度为0.01nm～100nm的测量技术.目前能够进行纳米测量的方法主要有：非光学方法和光学方法两大类。前者包括：SPM法和电容、电感测微法；后者包括X光干涉仪法、各种形式得激光干涉仪法、和光学光栅等方法。纳米测量过程还需要建立一个合适的纳米测量环境，以便提高测量精度，减少误差。所以我们必须注意（1）采用各种减震隔离装置，包括气浮式、电磁式和机械式隔离系统。一方面减小外界振动对测量系统的影响，另一方面将测量系统的振动固有频率远离振动源的频率。（2）保持实验室的室温恒定，减少由于光程差随伟大变化而带来的误差。（3）采取措施，减少空气扰动的影响。为此，测量时须注意遵循以下的原则：1、共光路系统原则；2、补偿原则；3、减少受影响的光路原则；4、减少杂散光原则；5、交流调制放大原则。本实验使用的是笔束激光干涉法，它是一种经过改良后的光学干涉法，测量精度也可达到纳米量级，其原理图如图1所示：图1 笔束激光干涉仪原理图激光器发出的是光斑直径甚细的准直激光束，即笔束光，记其位相分布为，半反射镜将笔束光分为待测光束和参考光束。这两笔束光分别经待测反射棱镜和参考反射棱镜反射后，回到半反射镜后，待测光束与参考光束已不再重合，而是存在一定的间距2d。透过半反射镜后，待测光束与参考光束平行入射到成像透镜，并在成像透镜的后焦面上重合发生干涉，形成干涉条纹。如图1，因为成像透镜的后焦点恰好与物镜的前焦点重合于小孔光阑处，这使干涉条纹被物镜放大成像于CCD上，既增大了干涉条纹的分辨率，又减少了杂散光的影响。所以在CCD上干涉条纹的位移量为： (1)上式中M为物镜的放大倍数，f为成像透镜的焦距，2d为待测光束与参考光束的空间间距，s为待测量的位移量。从（1）式可以看到通过记录干涉条纹移动数，就可以得到位移量，而测量的灵敏度完全取决于物镜放大率、成像透镜的焦距和两笔束光的空间间距，当f足够大的且2d足够下（使用笔束光的原因）的时候，就可以得到纳米量级的灵敏度。2、微弱振动的纳米测量与监视振动测量是由于振动物体位移引起待测光波位相的调制，并与参考光波产生干涉，光电接收装置将干涉信号转变为电信号，经过适当处理，利用电信号的变化求出振幅。其测量光路图与图2一致。激光入射光强，经半反射镜后，一支光束射向参考反射镜，光强为，光程长为；另一支光束射向带有压电陶瓷PZT的待测三角反射镜，光强为，测量镜静止时光程长。两支光束沿原路发射返回，经半反射镜在成像透镜后焦面汇合发生干涉，合成光强为 （2）当压电陶瓷按振动时，待测三角发射镜的瞬时光程可用下式表示： （3）代入式（2），得瞬时的干涉光强I为： （4）式中：，，当（m为整数）时，光强有极大值。相邻两个极值光强之间的相应位移为，即压电陶瓷推动三角反射镜，每向前（或向后）位移，干涉条纹的亮度变化一次。这个亮暗变化的光信号由光电探测器接受转换成电信号输出进行测量。测得其振动振幅为： （5）式中，N是光强变化的频率与振动台振动频率之比（即波形走一周期中条纹的移动数）。【实验步骤】1、按照图二所示放置好实验装置，然后打开激光器,先置在3档，待激光发射出后再置回1档。调整光路要通过的小孔,使整个光路通常无阻.2.调节各部分的仪器共轴,并且使两个反射镜反射出来的两束光中最亮的一束重合,方法是先挡住一个反射镜让最亮的光通过小孔光阑，再挡住另一个反射镜让最亮的光通过小孔光阑。3.打开电脑,启动CCD扫描设备,这时细细调节两个反射镜的底座,使干涉条纹出现在电脑屏幕上;然后调节CCD镜头,使出现在屏幕上的条纹清晰整齐,并且充满整个显示屏.实验装置如图二所示：图二：共焦实验装置图4.对压电陶瓷PZT输入直流电压，使PZT轴向移动三角镜。不断变换电压值,观察条纹平移情况，并将结果记录在表一中5、微弱振动的纳米测量与监视：（1）、给PZT送正弦波信号，使之振动三角发射镜，观察条纹及振动情况。记录条纹移动数和移动距离,重复3次.列于表二.（2）、记录波形走一周期中条纹移动数，从而由公式（5）求出振幅【实验数据记录处理与现象观测】1、位移的纳米测量(定标)表一 定标数据表直流偏压（mv）5080110140170200条纹移动数n0-0.4-0.8-1.2-1.5-1.9待测镜位移量s（nm）0-126.56-253.12-379.68-