（全新）6-第六讲 暗场、偏光、微差干涉技术.docVIP

第七讲 暗场、偏光、微差干涉技术 一、暗场技术 1 明场、暗场的特点对比 ⑴ 明场--------光柱垂直照射到样品的表面 ⑵ 暗场--------光线倾斜照射到样品的表面 2 暗场光学附件 ⑴ 环形光栏 ⑵ 反射套筒 3 成像原理 与明场成像的原理是一致的，但成像与明场的效果相反。 暗场照明的光学行程： 暗视场照明无论在光程布置上，照明效果上都与明视场照明有显著的差别。要说明暗视场照明的效果，必须先研究一下暗视场的光学布置（见下图）。来自光源的平行光线，为环行遮光板所阻，中心部分光线被遮去，穿过环行遮光板的光线成空心圆筒形光束射入垂直照明器。暗场照明的垂直照明器是一个环行反光镜，将圆筒形光束反射向上，沿着物镜外壳投在反射集光镜的金属弧形反射面上，靠它的反射使光线焦集在磨面上。 环形筒状入射光线 平行柱状入射光线 物镜 反射套筒 环形光栏 环形筒状射出光线