溅射台说明书.docVIP

超高真空磁控溅射设备 使 用 说 明 书 沈阳奇汇真空技术有限公司 一 设备简介 该设备是用于在真空状态下进行磁控溅射试验的科学仪器。设备的密封采用金属密封与氟胶圈密封相结合的方式，电极采用陶封技术，运动采用金属焊接波纹管结构。设备整体用优质不锈钢制造，系统可靠，运动灵活，定位准确。 设备的主要结构及介绍 设备按外观结构可分为三部分，磁控溅射室、、、℃，长时间在500℃条件下工作，控温精度±2℃。 水冷样品台可以和加热样品台更换使用，安装在磁控溅射室上方，采用不锈钢焊接而成，冷却效果良好。（如图三）  加热样品台 （图三） 水冷样品台 2.1.2真空获得系统 由2X—4B机械泵1台，620C分子泵（中科科仪KYKY 620C）1台，上海三井的100L离子泵一台，K-100扩散泵一台，CF150超高真空闸板阀1台，CF100超高真空闸板阀1台，CF35超高真空角阀1只。通断蝶阀一只，KF40电磁真空阀3只，Ф32金属波纹管路3段，(总长6.5米)构成。详见配套部分的《插板阀说明书》《110A分子泵说明书》《2XZ-4B机械泵使用说明书》，《三井离子泵使用说明书》 2.1.3真空获得系统 真空测量系统由测量规管和超高真空真空计组成。该机配有KF电阻规、超高真空金属电离规。详见《正华真空计说明书》。 磁控靶 3寸磁控溅射靶，靶体采用无氧铜加工而成，无磁力干扰，磁场部分模拟，提高靶材利用率，内置水冷结构，保证靶材使用寿命，水冷结构特殊设计，抗污染能力强（建议还是要使用纯净水，水中的杂质太多，大大的缩短靶水道清洗的周期。），靶上方固定混气环，可充如掺杂气体。 2.3 工作台 工作台整体由方管焊接打磨而成，四周安装可拆卸门板，底部安装有脚轮与地角，可方便移动。 二 主要技术参数 1 极限真空度：单开分子泵系统时，8.5x10-6Pa 开离子泵系统时，8.5x10-7Pa 扩散泵系统，8x10-4 Pa 2．真空抽速： 从大气达到7x10-4 Pa，40分钟。 3. 可制备最大为φ100mm的薄膜样品 4. 加热与水冷样品台升降距离为30mm。 三 设备的安装 安装步骤如下： 　１　打开包装后将主机和机械泵平稳移动到安装位置，移动过程中严禁搬扶样品架顶部及阀柄、管路等部位，整机严禁磕碰、撞击。 　２　设备与其它设备或墙壁的距离不得小于０.６米。 　３　安装位置确定后将主机下的支撑脚旋紧，使活动轮稍离地面。旋紧力要均匀。使用水平仪,调整工作台的水平度。 4 安装各部件。 5 连接水源，接好各部件的冷却水路。 　 6 　电控、电源的连接见电器说明书。 5 设备操作流程 5.1准备工作 1 检查冷却水路,确保水路密封,启动水箱。观察冷却水循环情况，是否有漏水之处，及时解决。 2 检查真空室的手动放气阀是否关闭，如未关闭请先关闭。 3 检查插板阀柄运动是否有阻碍物，确保无阻碍物的情况下方能操作。 4 将总电源面板上的总开关扳上。观察面板上电源相序指示灯。如不正确，立即关机解决。 6 启动真空计，观察真空度，真空室内有无真空度， 设备的操作方法是不同的。 8 准备工作完成，可以进行下列操作。 5.2设备的操作 5.2.1 设备操作规律 1 真空室内是大气状态，1×105或大于100Pa，此种情况的操作方式为：先启动机械泵，启动予抽阀，打开真空室的CF-35旁抽角阀，要全打开(旋到底)，待真空度抽至≤10Pa时，先关闭真空室的CF-35旁抽角阀，关闭予抽阀，启动前级阀，打开高真空室的闸板阀，要开到位，此时再次检查真空度指示，待真空度≤5Pa启动分子泵电源，抽至所需真空度（36000转，600MHz）。 2 真空室内有真空度，真空度显示≤20Pa,此种情况的操作方式为：启动机械泵，启动前级阀，打开高真空室的闸板阀，要开到位，待真空度≤5Pa时，启动分子泵电源，抽至所需真空度（36000转，600MHz）。 3 真空室抽至所需本底工作真空后，一般情况下，真空度应≤5×10-4Pa,此时关闭真空电离计，充入Ar2气，气瓶阀控不需要调节，打开CF16角阀（在真空室后部中间），开气体流量计，将2号流量计旋钮开至阀控位置，即开始进气，一般情况下，流量计调节旋钮不需要设置，流量计显示38到40之间，待真空度稳定，再缓慢关小闸板阀，同时观察电阻真空计数值在1Pa左右，可以开始溅射实验。调节样品间距（注意顶部电极不要与样品架接触，以防短路，检查溅射单元部分，粗调，细调为“0”，功率设置为“2K”档）打开磁控溅射电源（黄色按钮），加热灯丝5m