传感检测技术及其应用第6章报告.ppt

传感检测技术及其应用第二篇 典型传感器的原理及其应用技术 第六章 电容式传感器及应用 掌握电容式传感器工作原理?。 了解电容式传感器主要类型及各自的主要特点。 了解解电容式传感器的测量电路和主要应用。?  2、加固体介质的极距变化型电容传感器 减小间隙能提高灵敏度，但又易击穿，为此，经常在两极片间加一层介电常数值高一些的介电物质，如云母、塑料膜等。 　3.消除和减小寄生电容的影响① 增加原始电容值可减小寄生电容的影响。②注意传感器的接地和屏蔽。 ③尽量采用差动式电容传感器，可减小非线性误差，提高灵敏度，减小寄生电容的影响以及减小干扰。 非导电介质 H 导电介质 传感器极板与被测介质绝缘 容器和液体为一个电极； 插入金属电极为令一个电极； 绝缘套管为中间介质 * * 将被测量的非电量转换为自身电容的一种传感器。 两平行极板组成的电容器,它的电容量为: 当被测量d、A或ε发生变化时，都会引起电容的变化。如果保持其中的两个参数不变，而仅改变另一个参数，就可把该参数的变化变换为单一电容量的变化。 6.1 电容式传感器工作原理 　　式中　 ——真空介电常数，8.85×10-12（F/m）； ? ——极板间介质的相介电常数； ?? ——极板相互遮盖的面积(m2)； d ——极板距离(m); ——介质的相对介电常数。 ? 1.空气介质极距变化型 极距变化型电容式传感器的结构原理见下图。根据式 6.2 电容式传感器的类型 一、极距变化型 (3.4-3) 　 当极板间距 减小?d时，电容为： 电容增量为： 当?d/d01时，忽略非线性项，有： 电容相对变化量 当极板间距 增大?d时，电容相对变化量 灵敏度 相对非线性误差 实际中，为了提高灵敏度等常采用差动形式。 则有 灵敏度 非线性相对误差 二、 面积变化型 包括线位移型（平面线位移和圆柱体线位移）和角 位移型两种。 线位移型电容式传感器有平面线位移型和圆柱线位移型两种。 (3.4-8) 　 1.平面线位移型 相对变化 灵敏度 灵敏度为 2.角位移型 电容 变化量 灵敏度 3.圆柱形线位移型 起始电容为 当有位移△x时 构成差动筒型电容传感器时 4.容栅传感器 三、介质变化型 这种传感器大多用于测量电介质的厚度、位移、液位等。???????????????????????????????????????????????????????????????????????  (3.4-12) 　 (3.4-13) 　 如右图，厚度为?2 的介质（?2 为 其介电常数）在电容器中左右运动，由于电容器中介质的介电常数改变，电容量改变。设电容器极板宽度为b，介质?2的宽度大于等于b。 当极板间无介质?2时， 存在介质时，C=CA+CB （并联） 其中：?1= ? - ?2 从而： 显然，灵敏度为常数，输入输出成线性关系。 灵敏度 6.3 电容式传感器的测量电路 一、普通交流电桥 初始 二、变压器电桥 当C1，C2为差动电容传感器的电容时 ，则有 也可以用右 边的电桥 ui Ui/2 Ui/2 C1 C2 放大 相敏 检波 滤波 三、调频电路 四、运算放大器电路 五、电容式传感器特点 1.功率小、阻抗高； 2.静电力小、动态特性好； 3.本身发热量小； 4.结构简单； 5.初始电容小，分布电容、寄生电容影响大。 6.4 电容式传感器误差分析、补偿及应用 一、误差分析和补偿 1.减小环境温度、湿度等变化所产生的误差，保证绝 缘性。 2.消除和减小边缘效应。 二、电容式传感器应用 1.电容式压力传感器 电容式差压传感器 变面积电容压力传感器 2.电容式位移传感器 3.电容式加速度传感器 (1)传统电容加速度传感器 （2）MEMS电容式加速度传感器 4.电容式液位传感器 空气介电常数为 ，绝缘 液体介电常数为 。 x