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传 感 器 机械工程学院仪器系 李云雷 Tel:2786982 办公室：机械交通实验楼427 第二章 电阻式传感器 基本原理：将被测的非电量转换成电阻值的变化，再经转换电路变成电量输出。 电阻材料：导体、半导体、电解质溶液等。 物理学原理：导体、半导体的长度或内应力变化、温度变化导致电阻变化。 被测参数：力、压力、应变、加速度等。 主要优点：结构简单，性能稳定，灵敏度较高，有的可用于动态测量。 本章主要研究的内容：应变式传感器和压阻式传感器。 第一节 应变式传感器 定义：应变式传感器是利用金属的电阻应变效应，将被测物变形转换成电阻变化的传感器。 本节内容： 工作原理 应变片的类型和材料 金属应变片的主要特性 转换电路 温度误差及其补偿 应变式传感器举例 一、工作原理 ★金属的电阻应变效应 定义：当金属丝在外力作用下发生机械变形时，其电阻值将发生变化，这种现象称为金属的电阻应变效应。 一根长l ，截面积为S ，电阻率为ρ的金属丝电阻为: 当电阻丝受到轴向拉力F作用时，电阻值ΔR的变化引起电阻的相对变化为: ★应变片的基本结构及测量原理 1、丝绕式应变片结构： 合金电阻丝（φ0.025mm左右）绕成敏感栅； 敏感栅粘贴在绝缘的基底1 ； 电阻丝的两端焊接引出线4； 敏感栅上面粘贴有保护用的覆盖层3。 参数：l—基长，b—基宽，l×b—使用面积 规格：以使用面积和电阻值表示，例如3×10mm2，120Ω。 2、应变片的测量原理： 直接用应变片测量受力应变时，将应变片粘贴于被测对象表面上。在外力作用下，被测对象表面产生微小机械变形时，应变片敏感栅也随同变形，其电阻值发生相应变化ΔR 。 应用转换电路和仪器测出ΔR，根据式（2-3），可得弹性试件的应变值ε。 3、应变片的优点： 测量应变的灵敏度和精确度高，性能稳定、可靠，可测1～2με，误差小于1％。 应变片尺寸小、重量轻、结构简单、使用方便、响应速度快。测量时对被测件的工作状态和应力分布影响较小。既可用于静态测量，又可用于动态测量。 测量范围大。既可测量弹性变形，也可测量塑性变形。变形范围可从1％～2％至20％。 适应性强。可在高温、超低温、高压、水下、强磁场以及核辐射等恶劣环境下使用。 便于多点测量、远距离测量和遥测。 二、应变片的类型和材料 ★三种类型：金属丝式，金属箔式和金属薄膜式。 1、金属丝式应变片 ?回线式： 敏感栅丝直径在0.012～0.05mm，以0.025mm左右为最常用； 回线的曲率半径r为0.1～0.3mm； 基片用厚度为0.03mm左右的薄纸（称纸基），或用粘结剂和有机树脂基膜制成（称胶基），粘贴性能好，能保证有效地传递变形。 引线多用0.15～0.30mm直径的镀锡铜线与敏感栅相接。 回线式主要特点：因制作简单，性能稳定，成本低，易粘贴，所以最为常用。但因弯曲部的变形使其横向效应较大。 ?短接式： 两端用直径比栅丝直径粗5～10倍的镀银丝短接而成，有效克服了横向效应。 由于焊点多，易在焊点处出现疲劳损坏，制造工艺要求高，使用较少。 ?金属丝常用的材料有康铜、镍铬合金、镍铬铝合金、铁镍铬合金以及贵金属（铂、铂钨合金）等。 2、金属箔式应变片 制作工艺：箔式应变片是在绝缘基底上，将厚度为0.003～0.01mm电阻箔材，利用照相制板或光刻腐蚀的方法，制成适用于各种需要的形状。 箔式应变片的优点： 可制成多种复杂形状尺寸准确的敏感栅，栅长l最小可做到0.2mm，以适应不同的测量要求。 与被测试件接触面积大，粘结性能好。散热条件好，允许电流大，提高了输出灵敏度。 横向效应可以忽略。 蠕变、机械滞后小，疲劳寿命长。 箔式应变片的缺点： 电阻值的分散性大，有的能相差几十欧坶，故需要作阻值调整。 3、金属薄膜应变片 制作工艺：采用真空蒸发或真空沉积等方法在薄的绝缘基片上形成厚度在0.1μm以下的金属电阻材料薄膜敏感栅，最后再加上保护层，易实现工业化批量生产。 特点：电阻值高于箔式，形状和尺寸更精确；散热性好，适于较宽温度范围，应达－197～317℃；电阻值精度高，达0.01%；无胶结，避免了分选和粘贴。 ★粘结剂和粘贴技术 1、粘合剂 合理选择粘合剂： 粘合剂必须适合应变片材料和被测试件材料及环境，例如工作温度、湿度、化学腐蚀等。 对粘合剂要求： （1）有一定的粘结强度； （2）能准确传递应变，有足够的剪切弹性模量； （3）蠕变、机械滞后小； （4）有足够的稳定性能； （5）耐湿、耐油、耐老化、耐疲劳等。 常用的粘合剂类型有硝化纤维素粘合剂、氰基丙烯酸脂粘合剂、有机硅粘合剂等。 2、粘贴工艺 （1）应变片的检查和阻值检查； （2）试件表面处理，为了使应变片牢