20150701-阻焊直接成像曝光机(Screen)验收报告V1.0讲解.doc

阻焊直接成像曝光机(Screen)验收报告 一、验收目的： 检验设备的各项指标是否达到规格书要求，并评估设备工艺能力及产品品质是否达到我司要求。 二、验收信息： 序号 项目 信息说明 备注 1 型号 Screen LI-5F-M曝光机与威志传送设备 2 供应商 Screen(网屏)、威志 3 用途 阻焊曝光 4 验收数量 1 5 使用厂区/部门/工序 ICS/工艺部/阻焊 6 设备负责人 甘斌、曾祥敏 7 验收人 王锋锋、刘成勇 8 验收时间 2015.6.22—2015.7.3 三、验收项目及结果： 项目 Item 验收标准Aceeptance Standard 结果 备注 机体结构 机体完整性 机体完整，表面无划痕，损伤，各部件可正常运行 OK 传送设备不锈钢表面未抛光处理 基本规格 1.Passline:960±30mm2.设备尺寸：符合规格书设计要求3.运行方向（以操作面看）：从右到左4.传送尺寸：415×510mm标准 OK 传送系统 1.各马达符合类型、数量和规格符合规格书要求2.马达运行平稳3.马达皮带(链条)转动正常4.与板接触部位材质符合要求5.各搬送部运行稳定，夹持无异常，无异常噪声 待改善 翻板机为皮带；传送滚轮间距较大；收放板机吸板不平整；放板后吸嘴会粘板（7/25） 1.马达电流正确2.接线正确无误,并标示正确3.接线柱稳定无松动4.线槽稳固良好5.控制箱清洁良好6.入板电眼调试正常7.电源规格符合我司要求8.电控柜需要有调温装置 OK 控制系统 1.运行正常，软件系统至少包括中文2.电脑设有断电缓冲（UPS）装置3.各控制项目符合要求4.参数有分级修改权限设定5.预留收放板机自动控制端口 待改善 转换文件软件CU-9000无设置页为英文，无中文;曝光机无分级修改权限设定；NG产品暂存机无NG暂存功能（7/25） 机台运行 1.曝光机，冷却机，温调机等各部运行正常，无异常噪声或者故障2.开机试运行，抽真空后观察真空度数值是否达标 待确认 验收期间“主机冷却”常出现黄色警报，未知原因；目前正常产品在High模式下真空值约-5kpa。（7/25） 1. 温度控制精度：±1℃2. 湿度控制精度：±5% OK 曝光机内部温度约25℃ 机体灰尘控制 洁净度≤100级 洁净度按1000级控制 警报指示 1.故障报警正常2.报警指示灯正确3.各种保护、报警、急停等辅助装置可以正常使用4.做各种违规等操作验证报警功能是否有效5.按急停键验证能否实现急停功能6.设备，控制箱，线路等标牌粘贴正确7.异常情况、生产记录等自动存储功能，保存期限≥6个月 待改善 曝光主机无报警指示灯；抓板手臂在非指定区域可下降； 其他项目 此表中未涉及的项目依设备规格书逐项检查 待确认 能力与品质 传送能力 1.卡板，掉板，板折等导致的过板失败率＜0.3%2.出板产品无损伤、无杂物、无褶皱、无迹印、无翘曲 待确认 有吸嘴印迹 防翘曲能力 水平放置前后翘曲≤6mm情况的板能顺利运行，未出现掉板、折板、卡板等，产品生产时不会出现曝光不良现象 待改善 板边翘曲情况下无法正常对位（7/25） 产能 产能满足：≥5000m2/month 最小开窗 1.最小SRO能力：50±5um2.铜上及基材上阻焊undercut or foot：≤5um3.开窗形态良好 OK 能量均匀性 1.开窗大小：250±5um (245~255um)2.均匀性≥95% OK 阻焊桥 1.≥50um2.无发白、桥弯、掉桥等 OK 台面印记 无台面印记、凹坑、吸盘印等 待改善 产品图形内有吸盘印 曝光条纹 无明显曝光过度线条、曝光不良条纹等（依据Taiyo datasheet中能级要求，最高曝光能量均可满足要求） OK 有轻微曝光条纹 位置精度 要求3σ≤10um，cpk≥1.331.玻璃底片检查测试，1年/次--提供测试报告给FP,OK2.定期校准检查，每季度/次--提供校准报告给FP3.实际图形测试结果满足验收标准（铜面阻焊厚度25±10um，SRO以200um，300um为考察对象，测量位置：45Points/Panel） 待确认 尚未提供校准报告 重复精度 要求3σ≤5um，cpk≥1.331.玻璃底片检查测试，1年/次--提供测试报告给FP2.定期校准检查，每季度/次--提供校准报告给FP3.实际图形测试方法及结果满足验收标准（铜面阻焊厚度25±10um，SRO以200um，300um为考察对象，测量位置：45Points/Panel） 待确认 尚未提