6透射电子显微镜辩析.pptVIP

高性能的透射电镜大都采用5级透镜放大，即中间镜和投影镜有两级，分第一中间镜和第二中间镜，第一投影镜和第二投影镜。见图： 6.6 电镜的电子光学系统 6.6.3 成像系统－观察记录系统 观察和记录装置包括荧光屏和照相机，在荧光屏下面放置一下可以自动换片的照相暗盒。照相时只要把荧光屏竖起，电子束即可使照相底片曝光。由于透射电子显微镜的焦长很大，虽然荧光屏和底片之间有数十厘米的间距，仍能得到清晰的图像。 6.6 电镜的电子光学系统 图10.8 6.7.1 样品平移与倾斜装置(样品台) 6.7 主要附件 6.7.1 样品平移与倾斜装置(样品台) 6.7 主要附件 6.7.2 电子束倾斜与平移装置 新式的电子显微镜都带有电磁偏转器，利用电磁偏转器可以使入射电子束平移和倾斜。 6.7 主要附件 6.7.3 消像散器 6.7 主要附件 6.7.4 光阑 在透射电子显微镜中有许多固定光阑和可动光阑，它们的作用主要是挡掉发散的电子，保证电子束的相干性和照射区域。 其中三种主要的可动光阑是第二聚光镜光阑，物镜光阑和选区光阑。 光阑都用无磁性的金属(铂、钼等)制造。 图10.11 6.7 主要附件 6.7.4 光阑－第二聚光镜光阑和物镜光阑 6.7 主要附件 选区光阑又称场限光阑或视场光阑。 为了分析样品上的一个微小区域，应该在样品上放一个光阑，使电子束只能通过光阑限定的微区。 对这个微区进行衍射分析叫做选区衍射。由于样品上待分析的微区很小，一般是微米数量级。制作这样大小的光阑孔在技术上还有一定的困难，加之小光阑孔极易污染，因此，选区光阑都放在物镜的像平面位置。这样布置达到的效果与光阑放在样品平面处是完全一样的。但光阑孔的直径就可以做的比较大。如果物镜的放大倍数是50倍，则一个直径等于50μm的光阑就可以选择样品上直径为1μm的区域。 选区光阑同样是用无磁性金属材料制成的，一般选区光阑孔的直径位于20～400μm范围之间，它可制成大小不同的四孔一组或六孔一组的光阑片，由光阑支架分档推入镜筒。 6.7 主要附件 6.7.4 光阑－选区光阑 镜筒内部需处于高真空的原因： 避免电子与气体分子相碰撞而散射，提高电子的平均自由程(1米)。 避免电子枪的高压放电，并可延长灯丝寿命(免氧化)。 避免试样被污染。 真空部分：真空系统由机械泵、油扩散泵、换向阀门、真空测量仪奉及真空管道组成。它的作用是排除镜筒内气体，使镜筒真空度至少要在10-4 pa以上。 6.7 主要附件 电器部分 电子枪的高压电源。为减小色差，要求加速电压有很高的稳定度，如要达到0.2～0.3nm的分辨本领，压的稳定度必须优于2×10-6/分。 磁透镜激磁电流的电源。磁透镜激磁电流的波动使透镜焦距发生变化，像变得模糊。分辨本领为0.3nm的电镜要求物镜电流的稳定度为1×10-6/分，中间镜和投影镜电流的稳定度为5×10-6/分。 各种操作、调整设备的电器。包括电对中系统的电流、消象散器的电源及自动真空伐门、自动照相及其他自动控制系统的电路等。 真空系统电源。 保护用电器等。 6.7 主要附件 透射电镜的技术指标包括: 分辨本领: 亦称分辨率,表征电镜观察物质微观细节的能力，它是标志电镜水平的首要指标； 放大率:指电子图像相对于试样的线性放大倍数； 加速电压； 自动化程度及所具备的功能等。 6.5 电镜的分辨率 点分辨率(点分辨本领)： 电子图像上刚能分辨开的相邻两点在试样上的距离。 测量方法：在照片上量出两个斑点中心之间的距离，除以图像的放大倍数。近代高分辨电镜的点分辨率可达0.3 nm。 6.5 电镜的分辨率 线分辨率： 指电子图像中能分辨出的最小晶面间距，也称晶格分辨率。 如金(200)晶面的间距是0.204 nm，(220)晶面的间距是0.144 nm，在电镜中如能拍摄出金(200)的晶格条纹像，该电镜的线分辨率就是0.204 nm，若能拍摄出金(220)的晶格条纹象，线分辨率就是0.144 nm。 6.5 电镜的分辨率 透射电子显微镜功能的扩展 透射电子显微镜的功能的扩展； 分辨率的不断提高； 将计算机和微电子技术应用于控制系统、观察与记录系统等。 从1932年第一台透射电子显微镜诞生以来，70年的时间里它得到了长足的发展。这些发展主要集中在三个方面： 早期的透射电子显微镜功能主要是观察样品形貌，后来发展到可以通过电子衍射原位分析样品的晶体结构。具有能将形貌和晶体结构原位观察的两个功能是其它结构分析仪器(如光镜和X射线衍射仪)所不具备的。 透射电子显微镜增加附件后，其功能可以从原来的样品内部组织形貌观察(TEM)、原位的电子衍射分析(Diff.)，发展到还可以进行原位的成分分析(能谱仪EDS、特征能量损失谱EELS)、表面形貌观察(二次电子像SED、背散射电子像BED