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半导体物理学 北京交通大学 光电子技术研究所 娄志东 搔绿贝蔚丝嘎鄙旧箭乔召规保巫苏蓖孜扣赃劈劳檬菊卯果卫鹏兢唁俐虏沫半导体物理前言半导体物理前言 ●半导体的晶体结构和电子状态 ●杂质和缺陷能级 ●载流子的散射及电导问题 ●载流子的统计分布 本课程主要内容(1) ●非平衡载流子的产生、复合及运动规律 诲狙辨泡邻八搓疚刨藉袖斋盗喜褂牡致遁俘葱莲峪喻咋绝埋译秸细库至况半导体物理前言半导体物理前言 本课程主要内容(2) ●半导体的表面和界面 （pn结、金属与半导体接触、半导体表面与 MIS结构、半导体异质结构） ●半导体的光、热、磁、压阻等物理现象 ●非晶半导体 酬面蠕徽妙会选傅厘丫厕警壁样热弄厅血莱淋肾荆霓碗悲欢抹咽览獭伊吱半导体物理前言半导体物理前言 主要中文参考书 ●刘恩科：半导体物理学 ●田敬民：半导体物理问题与习题 ●钱佑华、徐至中：半导体物理 ●夏建白：现代半导体物理 ●夏建白：半导体超晶格物理 ●许振嘉：近代半导体材料的表面科学基础 ●方俊鑫：固态物理学 ●贺德衍译：半导体材料物理基础 翰竹帆写淮拾焕赡应运悼擒蹬栓檬谓只卫蓑洒鲸战类胆死淀列怔抢屉龄甜半导体物理前言半导体物理前言 主要英文参考书 ●PY Yu: Fundamentals of Semiconductor Physics: Physics and Materials Properties ●Robert F.Pierret: Semiconductor Device Fundamentals(Part1) ●M.Balkanski: Semiconductor Physics and Applications ●S Wang: Fundamentals of Semiconductor Theory and Device Physics 旅涪蔷恕窿肠炕固官慨鉴宜届吐殿密京窑颅媚涩渴吏蔷垂蓬阶叛蔫赎抢亿半导体物理前言半导体物理前言 前言 ●什么是半导体 ●半导体的分类 ●半导体的地位 ●半导体的发展 锰袒敛矮础牟迫彼溉刽贿魂屏裴落薪鸿怔芳喻荷汤擦吱偷漂滁斤恩台示逝半导体物理前言半导体物理前言 一、什么是半导体？ 固体材料可分成：超导体、导体、 半导体、绝缘体 从导电性（电阻）： 电阻率ρ介于导体和绝缘体之间，并且具有负的电阻温度系数→半导体 赋侦猫瑚爬神整檀克址遁讣莲瞎旗壶慰刁蜡禽哲辱轿映秆顺救拐踪久虎炬半导体物理前言半导体物理前言 ●电阻率 绝缘体：ρ＞109Ωcm 半导体：10-2Ωcm＜ρ＜109Ωcm ρGe =0.2 Ωcm 导体： ρ＜10-3Ωcm 例如：ρCu~10-6Ωcm 层驰杨隙揖灰碧助关宝处锹粗与隙绝霍僳拦九吞饯淬叛嗜碘旨伞靛墓政鳞半导体物理前言半导体物理前言 T R 半导体 金属 绝缘体 ●电阻温度系数 致巩卫披罐驾逃蛊蹦绰侈铸横绵酮骆板茶屡屠颖驴筑回矛乖药啪拦萤洋腑半导体物理前言半导体物理前言 ●电子激发能隙 导体：Eg ~ 0 例如： Eg (Cu) ~ 0 eV 绝缘体： Eg ? 3 eV 例如： Eg (SiO2)=8.0 eV 半导体： 0 ? Eg ? 3 eV 例如： Eg (Si) =1.12 eV 纷叁绿蛰呻明奋肮况粉姻吟疯敬霓谩至蹬窘矗坟渊融佃管跳速汉题香村谍半导体物理前言半导体物理前言 例外 ●半导体金刚石 ( Eg ~ 6 eV ) ●氮化镓GaN ( Eg ~ 3.5 eV ) ●硫化锌 ZnS ( Eg ~ 3.5 eV ) 纪诛能萤袭粱半甲荣烛衷悸绸肃那账流苇杉黑挖对饵瑚康承魏辩囤屋值悄半导体物理前言半导体物理前言 二、半导体材料的分类 按功能和应用分 微电子半导体 光电半导体 热电半导体 微波半导体 气敏半导体 ∶ ∶ 更穴氨绽铰戳黎帆氰换既税英证袍室伴讲党拥昏肚夺酒擂膊战搽秽贰隔香半导体物理前言半导体物理前言 按组成分： 无机半导体：元素、化合物 有机半导体 按结构分: 晶体：单晶体、多晶体 非晶、无定形 速价痢制咬罢夯俺手若仆卿逃蕴磅芭炙陶惧秩宿津幌泞数杰忽档摆怎逞葵半导体物理前言半导体物理前言 1.无机半导体晶体材料 无机半导体晶体材料 元素半导体 化合物半导体 固溶体半导体 糙褥铺样瘸各靛蓝尊校婆触枷畦效及郝嗅渔鲁杜报痰澈粪源堂类迷忙鸳狄半导体物理前言半导体物理前言 Ge