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超精密激光测距光路及采集系统设计时间:12-07-18来源:/代写职称论文作者:/职称晋级网点击: 120次　随着现代制造技术精度的不断提高,发展纳米测量技术,建立纳米计量测试标准成为计量与测试技术中十分重要的课题.超精密激光测距光路是随着纳米及微米技术的发展而诞生的一门新兴学科，无论在精细机械加工与微型机电系统，还是在物理精密测量领域上，纳米测量技术都有着广泛的应用.现在能够实现纳米测量的方法主要有：电感电容测微仪、x射线干涉仪、外差式激光干涉仪、计量型扫描探针显微镜。本论文重点探讨了在纳米测量技术领域目前常用的双频激光外差干涉仪。　采用双频激光源的外差干涉仪使光、电信号均成为交流量，克服了单频激光干涉仪的直流漂移问题，而且使细分变得容易，提高了抗干扰性能。特别是相位测量的外差干涉系统作为一种高精度的测量系统有着广泛的应用。本文首先分析、研究了现有各种测量仪的原理和应用范围，然后提出外差干涉仪，分析了单声光频移器和双声光频移器的优劣，然后提出更易提高精度的光纤结构。　本论文以光纤激光外差干涉仪为主，本文为外差测距的第一实验阶段，针对测距精度为10nm，设计了干涉仪的光学结构与整体参数，并利用PCI-6221数据采集卡采集数据，利用vc设计了采集程序界面，研制和实现了光纤激光外差干涉仪的测距系统。针对本论文分别进行了系统参数测量实验、激光线宽实验、激光外差干涉信号的测量结果实验。　1绪论　1.1精密距离测量背景介绍　?随着现代制造技术精度的不断提高,发展纳米测量技术,建立纳米计量测试标准是计量与测试技术中十分重要的课题.纳米科学是在纳米尺度和原子尺度上研究物质的特性,相互作用以及如何使用这些特性的多学科交叉的前沿科学.纳米测量技术是随着纳米及微米技术的发展而诞生的一门新兴学科.　纳米科学技术的发展涉及到微电子学,光学,材料学,机械学,生物与生命科学等科学研究和工业领域.它们都要求提供纳米甚至亚纳米计量测试手段.发展与之相适应的纳米计量学理论和能够溯源的纳米,亚纳米计量测试技术已成为一项迫切需要解决的重要任务.1981年IBM公司成功地研制了世界上第一台扫描隧道显微镜STM使人类有史以来第一次能够实时地观察到单个原子在物质表面的排列状态和与表面电子行为有关的物理化学性质.此后一系列能检测到原子量级的检测技术如原子力显微镜AFM,扫描近场光学显微镜SNOM,光子扫描隧道显微镜PSTM,等相继出现人类可以按自己的意愿直接操纵单个原子或分子从而制造出具有特定功能的产品[1].G.Binning和H.Rohrer也因此而获得了1986年的诺贝尔物理奖.　随着制造技术向着微型化发展,生物技术向着基因组分析方向发展,微电子制造向超大规模集成电路方向发展,这些领域以及MEMS技术的发展对测量技术提出了纳米测量及计量的要求.如下是几个相关领域在几何尺寸上的进展,从中可以看出对纳米精度测量及校准技术的的发展需求.　纳米测量应用背景:　精细机械加工与微型机电系统(MEMS):　金刚石刀具切削与金属结合剂砂轮---镜面磨削技术,可以加工出的镜面;电子束加工---当电子束聚焦成的光束照射敏感材料时,可以刻蚀的线条宽度;离子束加工---离子束直径可以达到的数量级,聚焦离子束刻蚀技术已经成功应用于材料表面改性;LIGA技术---采用深度同步X射线光刻技术,已经制造出最大高度为,高宽比为,加工精度为的立体微结构;铰链连杆机构---美国斯坦福大学研制的直径,长度的铰链连杆,转子直径为的静电电机;贝尔实验室开发出直径为的齿轮;　物理学测量需要:等效原理检验,LISA的引力波检验;纳米测试技术从生产制造的趋势看，每十年要求容许误差降低1／3，因此要求测量具有越来越高的精度，并可溯源到国际标准(ISO)。当然，纳米测量也多种多样，有光干涉测量仪、量子干涉仪、电容测微仪、X射线干涉仪、频率跟踪式法珀标准量具、扫描隧道显微镜(STM)、原子力显微镜(AFM)、分子测量机M3(molecularmeasuringmachine)等.光栅尺,电容传感.　现在能够实现纳米测量的方法主要有：电感电容测微仪、x射线干涉仪、外差式激光干涉仪、计量型扫描探针显微镜。x射线干涉仪由于波长短，可以得到fm量级的测量精度，但是体积大，安全性差；电感电容测微仪与计量型扫描探针显微镜由于作用测量体制的原因，作用距离都十分小，不能满足空间激光测量的应用；只有外差式激光干涉仪抗干扰性好，作用距离大，在微纳米数量级的测量精度下，依据激光源的发射功率，可以达到数公里甚至更远的作用距离，非常适用于空间应用。　下面介绍几种比较著名的关于精密测量的应用。　1.?K/Ka波段测距　GRACE计划:　GRACE卫星已于2002年3月17发射入轨。CRACE任务的实验目的旨在改进地球重力场模型的精度。CRACE任