检测技术第3版作者施文康余晓芬主编第五章课案.pptVIP

(二)电容测量法 图5-47　电容式液位测量探头结构示意图a)用于连续测量的探头　b)用于极限位置监控的探头 (三)超声测量法 图5-48　超声波物位仪表的安置方式 (三)超声测量法 图5-49　磁致伸缩位移传感器结构示意图ａ)原理示意图　ｂ)外形图 (四)磁致伸缩液位传感器 图5-50　磁致伸缩位移传感器应用于大油罐液位测量 第六节　纳米测量技术 一、扫描隧道显微镜二、原子力显微镜三、X射线干涉仪四、大量程的纳米测量技术 一、扫描隧道显微镜 图5-51　扫描隧道显微镜结构原理图 二、原子力显微镜 图5-52　AFM的工作原理示意图 二、原子力显微镜 图5-53　AFM微悬臂偏转检测方法示意图a)隧道电流检测法　b)光学干涉测量法　c)光束偏转测量法　d)电容测量法 三、X射线干涉仪 图5-54　X射线干涉仪结构框图 三、X射线干涉仪 图5-55　单晶硅光栅的机构及工作原理示意图 三、X射线干涉仪 图5-56　片簧位移系统示意图 四、大量程的纳米测量技术 图5-57　间接测量环规内径示意图 四、大量程的纳米测量技术 图5-58　三坐标测量环规内孔示意图 四、大量程的纳米测量技术 表格 (二)用电感式电子水平仪测量直线度误差 图5-28　电感式电子水平仪结构示意图 1.电感式电子水平仪原理　 水平仪有很多种，传统的水平仪以水泡的位置来判断哪端高，高多少，而电感式电子水平