奈米技术实习第二组第五次报告南台科技大学机械工程系微奈米技术.doc

奈米技術實習第二組第五次報告 南台科技大學 機械工程系 微奈米技術組 四奈米三乙 組長 許中瑋 學組員 蔡秉翰 學 謝文龍 學徐祥傑 學李佳和 學 實習題目： AFM檢測 實習日期： 99 年 12 月13 日 壹、緣由 原子力顯微鏡為掃描探針顯微技術（SPM）的代表儀器，由於STM侷限於試片的導電性質，使得應用範圍大大的減少，為了能有更廣泛的應用科用，故改用力場作回饋而發展出原子顯微儀，而因為對導體及絕緣體均有三維空間的顯影能力，所以成為運用最廣泛的掃描探針顯微儀。 AFM是由Binnig等人於1986年所發明的，具有原子級解像能力，可應用於多種材料表面檢測，並能在真空、氣體或液體環境中操作。AFM操作模式可區分為接觸式、非接觸式及間歇接觸式（或稱為輕敲式）三大類，不過若要獲得真正原子解析度，必須以非接觸式的操作模式在真空環境下方能得到。目前原子力顯微鏡（AFM）的應用範圍十分廣泛，包括表面形貌量測、粗糙度分析及生醫樣品檢測等。 貳、原理 AFM的主要結構可分為探針、偏移量偵測器、掃描器、迴饋電路及電腦控制系統五大部分，如圖，距離控制方式為光束偏折技術，光係由二極體雷射產生出來後，聚焦在鍍有金屬薄膜的探針尖端背面，然後光束被反射至四象限光電二極體，在經過放大電路轉成電壓訊號後，垂直部份的兩個電壓訊號相減得到差分訊號，當電腦控制X、y軸驅動器使樣品掃描時，探針會上下偏移，差分訊號也跟著改變，因此迴饋電路便控制z軸驅動器調整探針與樣品距離，此距離微調或其他訊號送入電腦中，記錄成為X、Y的函數，便是AFM影像。 輕敲式AFM則是將非接觸式加以改良，其原理係將探針與樣品距離加近，然後增大振幅，使探針在振盪至波谷時接觸樣品，由於樣品的表面高低起伏，使得振幅改變，再利用類似非接觸式的迴饋控制方式，便能取得高度影像。由於接觸式掃描容易刮傷試片表面，所以後來改用驅動探針跳動來掃描試片，如此接觸試片表面時探針施予的力量不但小了許多，且只有正向作用力，但是此時系統不再利用探針懸臂的偏折量來作回饋，而是探針跳動時懸臂的振幅量來回饋。 參、實驗方法 我們的AFM檢測要掃描數字版，使用顯微物鏡式掃描探針顯微鏡掃描控制軟體，一開始先調整控制器將干涉儀訊號歸零，設定振幅為(如圖一)，設定共振頻率(開始頻率為15萬Hz)，開始掃頻，接著按更新，顯示169060Hz共振頻率，開始下針，模式快速、馬達速度快速，微步進馬達開始轉動，開始掃描數字版，經過一段時間後出現數字，有線條處表示失敗。 練習換針(如圖二) 把握三大原則，開啟夾艙 、更換探針 、蓋上夾艙，完成。 (圖二) (圖一) 肆、結果與討論 此實驗難度比較高必須注意許多小細節，任何一個步驟都不可省略，設定共振頻率，一開始是15萬Hz掃頻更新後，變成169060Hz，使用越多頻率會漸小，下針的時候重點來了，大家都必須坐著不能動，只要有輕微的震動我們的實驗就可能失敗，從我們實驗結果可以看到，有出現一些線條，那可能就是我們的震動所造成的結果，但整體看來瑕疵並不是太大，做到最後一個實驗才發覺都會使用到之前所做過的實驗，下針時就會運用微步進馬達，操控機台時呢，有些同學先在旁練習換針，除了把握三大原則，開啟夾艙 、更換探針 、蓋上夾艙之外，還是要必須非常細心，探針可不容許我們輕輕的摔到，要放進夾倉也不是那麼容易，很難剛好對準。 我們所使用的是輕敲式的，懸臂在試樣表面上方以其共振頻率振蕩，針尖僅僅是週期性地短暫地接觸敲擊樣品表面，優點就是很好的消除了橫向力的影響。降低了由吸附液層引起的力，圖像解析度高，適於觀測軟、易碎、或膠粘性樣品，不會損傷其表面。 缺點是比Contact Mode AFM 的掃描速度慢。 伍、參考資料 1. .tw/AFM/ch4.htm 2. .tw/AFM/ch2.htm 3./wiki/%E5%8E%9F%E5%AD%90%E5%8A%9B%E6%98%BE%E5%BE%AE%E9%95%9C 4./question/question?qid=1306032000245