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RENA正常开关机及异常处理 内 容 提 纲 开机前的准备工作 开机步骤 关机步骤 开机异常处理 开机前准备工作 1、 准备好防护用品:耐酸碱手套、防酸碱围裙、防护眼镜、防护面罩、PVC/昵绒手套等。 2 、联系系统保障部确认为外围设施水、电、气正常供给,确 认外围排风正常。 3、 打开设备外连的水、电、气阀门。 4 、确认各化学药品供给正常(HF、HNO3、 HCL、 H2SO4 、NaOH)。 5、 检查各槽体,确保槽体清洁无碎片残留,关闭所有门、窗、盖板防止药液飞溅。 开机步骤 1、 开启电控柜主电源开关,将电控柜面板上的主电源开关手柄顺时针旋转置于“ON” 2、 依次打开电控柜内的所有断路器、电机保护开关。如图 开机步骤 3、将冷水机面板上的电源开关手柄顺时针旋转置于“ON”处。 4、检查冷水机水位指示,如上右图所示。 5、检查并复位机台上的所有急停开关。 6、按下电脑主机上的电源按钮,电脑将自动加载启动Wincc操作系统 7、按下显示器上的“ON”按扭,等系统进入操作程序后打开,使电器回路得电。 开机步骤 开机步骤 8、软件自动启动并显示如图十一界面,点击login输入用户名及密码。 开机步骤 9、点击 “Manual”按钮,在此模式下打开如下界面(如图),手动启动滚轮,检查滚轮运行状态,避免槽盖、风刀、水刀或其他管路压倒滚轮。 10、 开机步骤完成,交由工艺。 关机步骤 关机前停止上料,确认机器内部的 硅片已全部流出。 1、 登陆操作界面 点击主界面 “STOP”键停止设备运行。 2、 点击界面上 “Manual”按钮 进入手动模式手动操作界面。 3、 在手动模式下将逐个 排空各槽并清洗 关机步骤 4、 以清洗rinse1为例:点击 rinse1,选择mode man,然后按按钮 draining把bath排空,之后再点击filling DI加水, 达到工艺液位后点击start circulation循环两分钟再点击draining排空.其他槽同rinse1。 如下图所示 关机步骤 5、 槽体清洗好后,清理各槽内碎片特别是上下料处,装好滚轮,盖好盖板门窗。 6、 将设备打到停止模式,点击“MODE OFF”,进入停止模式,点击“Exit”退出软件程序。 关机步骤 7、退出程序后关闭电脑 8、点击显示器下方“off”按钮,依次断开24V电源开关,关闭PC电源,关闭冷水机电源开关,设备主电控开关。 9、依次关闭所有外围动力阀门。 10、 关机流程结束 开关机常见异常处理 1、显示器不亮,首先排查显示器有无问题,其次排查主机与显示器之间的通讯线路(包括AdderLink是否锁住),再次排查主机内硬盘、内存卡及连接线有无异常, 如依次排查完仍无法解决请及时联系工程师。 2、电脑开机后操作软件无法打开,必须 调用备份进行软件还原。详见附件 3、设备手动运行后,发生泵的干转报警,检查液位是否正常,不够就通知工艺补液。 4、溶液补液超时,检查补液气动阀有无工作,若无动作就检查PLC模块有无输出; 若阀有动作,检查是药液加得慢,可调整阀体开度,如若不行更换气动阀(更换时需注意做好防护措施)。
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