第七章原子力显微镜重点.pptVIP

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第七章 原子力显微镜 二. 特点: 1.AFM(Atomic Force Microscope)是以STM为基础,和STM为类似技术的扫描探针显微镜,它是通过研究样品表面与针尖原子间的作用力同距离的关系而获得样品表面形貌信息的显微术。 2.它不象STM使用金属探针,而是使用一个尖端附有探针的极灵敏的弹簧臂来作力敏元件,称之为微悬臂。当微悬臂接近样品表面时,探针和样品表面原子力将产生相互作用。 3.当距样品较远时(0.2nm—10nm),主要是范德瓦尔斯力(Van Der Waals Force,简称VDW)起作用; 4.距离较近时主要是排斥力起作用。排斥力的大小取决于针尖与样品表面的原子的接近程度。 原子间范德瓦尔斯力和距离的关系 (一)隧道电流法检测的原子力显微镜 图6-1为使用隧道电流检测的原子力显微镜结构原理示意图。 1. 结构组成 主要由探头、扫描装置、计算机及显示终端等几部分组成。 (1)探头:包括微悬臂、隧道电流探针、样品室、机械调整装置和压电陶瓷管等。 (2)扫描装置:一般有两种扫描方式,一种为恒流模式;另一种为恒高模式。 (3)计算机处理及显示终端。 2.原子力显微镜的工作原理 当微悬臂上的探针在样品表面X和Y方向作相对扫描时,因为样品表面是凹凸不平的,探针与样品表面的原子间的相互作用力也随之发生变化,导致探针和微悬臂一起上下起伏,微悬臂的起伏与样品表面原子力等位面相对应,亦即和样品表面的形貌相对应。对于恒高模式,在微悬臂上下起伏的过程中,隧道电流针尖与微悬臂之间的隧道电流随之变化,检测此隧道电流即获得样品表面的形貌信息。对于恒流模式,在微悬臂上下起伏的过程中,隧道电流针尖随之也 上下起伏,检测此隧道电流针尖在Z方向的移动,即获得样品表面的形貌信息。将这些信息进行模数转换并送入计算机进行处理,即可获得样品表面的超微结构图象或原子分布图。 (二)光学偏转法检测的原子力显微镜 1.结构原理图: 1.1 力检测部分 在原子力显微镜(AFM)的系统中,所要检测的力是原子与原子之间的斥力或范德华力。所以在本系统中是使用微小悬臂(cantilever)来检测原子之间力的变化量。微悬臂通常由一个一般 100~500μm 长和大约 500nm~5μm 厚的硅片或氮化硅片制成。微悬臂顶端有一个尖锐针尖,用来检测样品-针尖间的相互作用力。这微小悬臂有一定的规格,例如:长度、宽度、弹性系数以及针尖的形状,而这些规格的选择是依照样品的特性,以及操作模式的不同,而选择不同类型的探针。 1.2 位置检测部分 1.3 反馈系统 2.光学偏转法检测的原子力显微镜的原理 半导体激光器所发激光经准直聚焦后 照到微悬臂的背面,微悬臂的背面镀有金膜,相当于一面反射镜,经微悬臂反射的激光束照到一个二象限光电探测器上。样品固定在压电陶瓷管上,并一起随压电陶瓷管在扫描电路控制下沿X,Y方向扫描,并且在Z方向可以伸缩。如果微悬臂探针同样品间的相互作用使微悬臂在Z方向产生位移,那么反射束将在二象限光电探测器上移动。在二象限光电探测器中两个光电管的交界处,光斑的移动同二象限信号的差值有良好的线性关系,取二象限信号差值作为表面形貌信息。 1.接触模式 2.AFM的非接触模式 在这种工作模式下,AFM微悬臂工作在距离样品较远的地方,一般为,在这样远的距离上二者没有电子云重叠发生,此时主要是VDW在起作用。由于VDW及VDW的梯度均较小,所以要采用谐振的办法来检测,即将微悬臂安装在一个压电陶瓷片上使微悬臂在其谐振频率上振动,当微悬臂上的针尖在样品表面上作相对扫描时,VDW发生改变,VDW的改变使微悬臂的运动发生变化,产生“相移”或振幅改变,测得这个“相移”或振幅改变即可获得VDW梯度,积分后可得VDW。VDW随着微悬臂上针尖和样品之间的相对运动而变化,将这种VDW的变化转换为形貌即得样品表面的超微结构或原子分布图象。 3.轻敲模式 4 相移模式 例:云母表面的AFM像 扫描范围: 5nm×5nm X方向扫描速度为 30Hz 光盘表面的AFM图 扫描范围3.2um×3.2um, X方向的扫描速度30Hz 原子搬运 扫描范围:47nm×24nm 1.磁力显微镜(MFM) 磁力显微镜(Magnetic Force Microscopy,MFM)也是使用一种受迫振动的探针来扫描样品表面,所不同的是这种探针是沿着其长度方向磁化了的镍探针或铁探针。当这一振动探针接近一块磁性样品时,探针尖端就会像一个条状磁铁的北极和南极那样,与样品中磁畴相互作用而感受到磁力,并使其共振频率发生变化,从而改变其振幅。这样检测探针尖端的运动,就可以进而得到样品表面的磁特性。 2.静电力显微镜(EFM) 在静

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