半導體製造技術導論」課程講義請至ftpmsemse@140.doc

課程名稱：半導體產業經濟及管理導論（必修） 授課老師：學術及產業界專業人仕 課程內容：提供學生有關半導體產業相關經濟知識和管理技能，以提昇管理能力本課程將邀請產官學研界領袖人物親臨授課，透過這些領袖級人物的智慧與語言，讓學員充分瞭解高科技產業的發展趨勢、投資環境以及經營的策略。 課程目標： 讓學員充分瞭解高科產業的發展趨勢、全球競爭態勢以及企業永續發展的經營策略。 課程評分標準： 出席率 30%、平時表現及作業 30%、期末考或報告40%教科書及參考書籍：上課講義及指定文獻 課程名稱：授課老師： 課程內容： 課程名稱：授課老師： 課程內容： 1.Introduction to Semiconductor Industry 2.Overview of IC Technology and Review of Semiconductor and Physics3.Semiconductor Materials, Process Chemicals, and Contamination Control 4.Overview of Wafer Fabrication 5.Crystal Growth 6.Thermal Oxidation 7.MOS Capacitors 8.Diffusion 9.Epitaxy and Chemical Vapor Deposition 10.Ion Implantation 11.Pattern Definition (Lithography and Etching) 12.Metallization and CMP 13.MOSFET and Bipolar Process Integration 課程評分標準： 平時表現及作業 30%、期中考 30%、期末考或報告40% 教科書及參考書籍：上課講義及指定文獻 課程名稱：授課老師： 課程內容： 平時表現及作業 30%、期中考 30%、期末考或報告40% 課程名稱：授課老師： 教學目標： 培養學生除具備材料基礎知識外，兼備半導體、光電及機械相關薄膜製程技術基礎，以因應全方位專業需求，從事研究或就業所需基本專業能力。先修科目：應具備材料科學與工程導論或物理冶金基礎教材內容：以編製講義內容為主參考書籍為輔教學方式：投影片(PowerPoint)參考書目：Surface Engineering of Materials Reference: 1.Surface engineering for wear resistance. (Kenneth G.et.al.) 2.Surface cleaning finishing and coating .(metal handbook)Wear and corrosion resistance coatings by CVD and PVD.(Hands K. Pulker) 3.Deposition technologies for films and coatings.(Rointan F. Bunshah et al.) 4.Physical vapor deposition.(Russell J.Hill) 5.ULSI Device. (C.Y. Chang and S.M.Sze) 6.薄膜光學與鍍膜技術。藝軒出版(李正中) 課程名稱：授課老師： 1.Energy band and carrier concentration in thermal equilibrium 2.Carrier transport phenomena 3.P-N junctuons 4.Metal semiconductor contacts 5.Bipolar transistors 6.MOS capacitors 7.MOS transistors 8.MESFET and Heterostructure devices 課程目標： 建立學生基本半導體物理概念半導體元件操作原理，並介紹Si，GaAs相關半導體電子元件。課程評分標準：作業20%、期中考40%、期末考40%（＊每章節皆需繳交作業） Nearman：Semiconductor physics and Devices Sze：Semiconductor Devices physics and Technology 課程名稱：授課老師： 掃描式電子顯微鏡分析9小時 穿透式電子顯微鏡分析9小時 x光繞射分析6小時 期中考3小時 Auger電子能譜分析6小時 x光電子能譜分析3小時 二次離子質譜儀分析3 小時 掃描探針顯微鏡分析6小時 期末考3小時 了解基本材料分析的原理與在半導體材料的應用，能夠知道數據產生方式及正確性，使用分析技術的場合。3